[實(shí)用新型]一種帶烘干功能的清洗機(jī)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201922187815.6
• 申請(qǐng)日: 2019-12-09
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN211488784U
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-09-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 胡建軍
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 蘇州英爾捷半導(dǎo)體有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): B08B3/02
• 分類(lèi)號(hào): B08B3/02;B08B13/00;H01L21/67;F26B21/00;F26B11/18
• 代理公司: 蘇州言思嘉信專(zhuān)利代理事務(wù)所(普通合伙) 32385
• 代理人: 徐永雷

本實(shí)用新型公開(kāi)了一種帶烘干功能的清洗機(jī)，包括主體、橫板和固定套，所述主體的底端外側(cè)設(shè)置有滾輪，且主體的底端內(nèi)側(cè)設(shè)置有腳柱，所述腳柱的外側(cè)設(shè)置有固定環(huán)，所述主體的上端一側(cè)設(shè)置有清洗倉(cāng)，且清洗倉(cāng)的外部一側(cè)固定有鉸鏈，且鉸鏈的另一端固定有清洗倉(cāng)門(mén)體，所述清洗倉(cāng)門(mén)體的上端設(shè)置有玻璃，且清洗倉(cāng)門(mén)體的外側(cè)固定有把手，所述清洗倉(cāng)的內(nèi)部?jī)蓚?cè)設(shè)置有滑軌，且滑軌的外側(cè)固定有滑塊。該帶烘干功能的清洗機(jī)設(shè)置有烘干盤(pán)，烘干盤(pán)與烘干倉(cāng)呈水平狀分布，呈水平狀分布的烘干盤(pán)和烘干倉(cāng)可以保證放置在烘干盤(pán)上端的晶圓在烘干過(guò)程中的穩(wěn)定性，同時(shí)配合設(shè)置有的第二電動(dòng)機(jī)達(dá)到旋轉(zhuǎn)烘干盤(pán)提升烘干的效果，提升該清洗機(jī)的工作效率。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及晶圓清洗裝置技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種帶烘干功能的清洗機(jī)。

背景技術(shù)

晶圓是指硅半導(dǎo)體集成電路制作所用的硅晶片，由于其形狀為圓形，故稱(chēng)為晶圓；在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結(jié)構(gòu)，而成為有特定電性功能的集成電路產(chǎn)品，晶圓表面附著大約2μm的Al₂O₃和甘油混合液保護(hù)層,在制作前必須進(jìn)行化學(xué)刻蝕和表面清洗，晶圓表面清洗的程度直接影響晶圓的實(shí)際使用效果。

市場(chǎng)上的晶圓清洗機(jī)在整體的結(jié)構(gòu)上不夠牢固，容易在實(shí)際使用過(guò)程中出現(xiàn)晃動(dòng)導(dǎo)致影響晶圓表面清洗的情況，同時(shí)不具有烘干的結(jié)構(gòu)，使得清洗后的晶圓表面殘留水分，不便于儲(chǔ)存，影響晶圓的實(shí)際使用效果的問(wèn)題，為此，我們提出一種帶烘干功能的清洗機(jī)。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供一種帶烘干功能的清洗機(jī)，以解決上述背景技術(shù)中提出的晶圓清洗機(jī)在整體的結(jié)構(gòu)上不夠牢固，容易在實(shí)際使用過(guò)程中出現(xiàn)晃動(dòng)導(dǎo)致影響晶圓表面清洗的情況，同時(shí)不具有烘干的結(jié)構(gòu)，使得清洗后的晶圓表面殘留水分，不便于儲(chǔ)存，影響晶圓的實(shí)際使用效果的問(wèn)題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：一種帶烘干功能的清洗機(jī)，包括主體、橫板和固定套，所述主體的底端外側(cè)設(shè)置有滾輪，且主體的底端內(nèi)側(cè)設(shè)置有腳柱，所述腳柱的外側(cè)設(shè)置有固定環(huán)，所述主體的上端一側(cè)設(shè)置有清洗倉(cāng)，且清洗倉(cāng)的外部一側(cè)固定有鉸鏈，且鉸鏈的另一端固定有清洗倉(cāng)門(mén)體，所述清洗倉(cāng)門(mén)體的上端設(shè)置有玻璃，且清洗倉(cāng)門(mén)體的外側(cè)固定有把手，所述清洗倉(cāng)的內(nèi)部?jī)蓚?cè)設(shè)置有滑軌，且滑軌的外側(cè)固定有滑塊，所述滑塊的外側(cè)固定有旋鈕，且滑塊的另一端固定有清洗水槍?zhuān)龌瑝K的另一端內(nèi)部設(shè)置有固定軸，所述清洗倉(cāng)的上端外側(cè)設(shè)置有第一液壓缸，且第一液壓缸的另一端連接有第二液壓缸，所述第二液壓缸的一側(cè)固定有橫板，且第二液壓缸的下端連接有液壓柱，所述液壓柱的外側(cè)設(shè)置有固定套，且液壓柱的下端連接有吸盤(pán)，所述清洗倉(cāng)的內(nèi)部底端固定有晶圓固定盤(pán)，且晶圓固定盤(pán)的外側(cè)設(shè)置有固定框，所述固定框的內(nèi)側(cè)設(shè)置有彈簧，且彈簧的另一端固定有夾塊，所述晶圓固定盤(pán)的下端連接有第一電動(dòng)機(jī)，所述清洗倉(cāng)的一側(cè)設(shè)置有擋板，且擋板的另一側(cè)設(shè)置有烘干倉(cāng)。

優(yōu)選的，所述固定環(huán)與腳柱呈同圓心分布，且固定環(huán)和腳柱之間構(gòu)成可升降結(jié)構(gòu)。

優(yōu)選的，所述玻璃的外側(cè)貼合于清洗倉(cāng)門(mén)體的內(nèi)側(cè)，且玻璃和清洗倉(cāng)門(mén)體之間構(gòu)成嵌入式結(jié)構(gòu)。

優(yōu)選的，所述滑塊內(nèi)側(cè)呈凹槽狀，且滑軌、滑塊和清洗水槍之間構(gòu)成滑動(dòng)連接。

優(yōu)選的，所述第二液壓缸和液壓柱呈垂直狀分布，且第二液壓缸、液壓柱和吸盤(pán)之間構(gòu)成伸縮結(jié)構(gòu)。

優(yōu)選的，所述彈簧與晶圓固定盤(pán)呈水平狀分布，且彈簧、晶圓固定盤(pán)和夾塊之間構(gòu)成彈性結(jié)構(gòu)。

優(yōu)選的，所述烘干倉(cāng)的外側(cè)設(shè)置有烘干倉(cāng)門(mén)體，且烘干倉(cāng)的內(nèi)部設(shè)置有熱風(fēng)扇，且烘干倉(cāng)的內(nèi)部底端固定有烘干盤(pán)，所述烘干盤(pán)的下端連接有第二電動(dòng)機(jī)。

優(yōu)選的，所述烘干盤(pán)與烘干倉(cāng)呈水平狀分布，且烘干盤(pán)與第二電動(dòng)機(jī)構(gòu)成旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)。