[實用新型]一種VAD沉積爐內壓力自動控制系統有效

申請號：	201922181527.X	申請日：	2019-12-06
公開（公告）號：	CN211226915U	公開（公告）日：	2020-08-11
發明（設計）人：	駱金衛;李銳;王侃	申請（專利權）人：	江蘇奧維信亨通光學科技有限公司
主分類號：	C03B37/014	分類號：	C03B37/014;C03B37/018
代理公司：	北京科億知識產權代理事務所(普通合伙) 11350	代理人：	湯東鳳
地址：	215200 江蘇省蘇***	國省代碼：	江蘇;32
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摘要：
搜索關鍵詞：	一種 vad 沉積壓力自動控制系統
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【權利要求書】：

1.一種VAD沉積爐內壓力自動控制系統，其特征在于：其包括反應爐、通過廢氣排出管連通所述反應爐內部的抽風裝置、與所述反應爐連通的新風補風管、設置在所述新風補風管上的新風補風閥、與所述廢氣排出管連通的抽風補風管、設置在所述抽風補風管上的抽風補風閥、設置在所述反應爐內的壓力傳感器、以及PLC控制器，所述PLC控制器與所述新風補風閥、所述抽風補風閥以及所述壓力傳感器電氣連接。

2.如權利要求1所述的VAD沉積爐內壓力自動控制系統，其特征在于：所述廢氣排出管上位于與所述抽風補風管交匯的下游設置有手動閥。

3.如權利要求1所述的VAD沉積爐內壓力自動控制系統，其特征在于：所述新風補風管與所述抽風補風管的另一端均連通外界空間。

4.如權利要求1所述的VAD沉積爐內壓力自動控制系統，其特征在于：所述新風補風閥與所述抽風補風閥為電動比例調節閥。

5.如權利要求1所述的VAD沉積爐內壓力自動控制系統，其特征在于：還包括一警報裝置，所述PLC控制器與所述警報裝置電氣連接。

6.如權利要求1所述的VAD沉積爐內壓力自動控制系統，其特征在于：所述新風補風管與所述抽風補風管分別位于所述反應爐的兩側。

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