[實(shí)用新型]高換向三端雙向交流開(kāi)關(guān)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201922172224.1
• 申請(qǐng)日: 2019-12-06
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN211350653U
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-08-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張環(huán);周繼峰;朱迺茜
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 力特半導(dǎo)體（無(wú)錫）有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L29/06
• 分類(lèi)號(hào): H01L29/06
• 代理公司: 北京品源專(zhuān)利代理有限公司 11332
• 代理人: 王小衡;胡彬

1.一種高換向三端雙向交流開(kāi)關(guān)，其特征在于，所述高換向三端雙向交流開(kāi)關(guān)包括：

中心層，其由n型材料形成；

頂層和底層，其由設(shè)置在所述中心層的頂部和底部表面之上的p型材料形成；

柵電極和陰極，其被設(shè)置在所述頂層上；

陽(yáng)極，其被設(shè)置在所述底層上；以及

槽，其被形成在所述頂層中，處于所述柵電極和所述陰極之間。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高換向三端雙向交流開(kāi)關(guān)，其特征在于，還包括鈍化層，其被設(shè)置在所述槽內(nèi)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的高換向三端雙向交流開(kāi)關(guān)，其特征在于，所述鈍化層覆蓋了所述頂層中的所述槽和相鄰部分。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的高換向三端雙向交流開(kāi)關(guān)，其特征在于，所述鈍化層由玻璃或聚酰亞胺形成。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的高換向三端雙向交流開(kāi)關(guān)，其特征在于，所述鈍化層具有在1微米至30微米的范圍內(nèi)的厚度。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高換向三端雙向交流開(kāi)關(guān)，其特征在于，所述槽完全穿過(guò)所述頂層并延伸進(jìn)入所述中心層。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的高換向三端雙向交流開(kāi)關(guān)，其特征在于，當(dāng)從所述頂層的頂部表面測(cè)量時(shí)，所述槽延伸的深度為20微米至90微米。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高換向三端雙向交流開(kāi)關(guān)，其特征在于，所述槽部分地延伸穿過(guò)所述頂層。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的高換向三端雙向交流開(kāi)關(guān)，其特征在于，當(dāng)從所述頂層的頂部表面測(cè)量時(shí)，所述槽延伸的深度為5微米至70微米。