[實用新型]一種垂直運動Z向平臺

有效

• 申請號: 201922166719.3
• 申請日: 2019-12-05
• 公開（公告）號: CN211388645U
• 公開（公告）日: 2020-09-01
• 發明（設計）人: 許云飛
• 申請（專利權）人: 無錫地心科技有限公司
• 主分類號: B25H1/00
• 分類號: B25H1/00
• 代理公司: 北京智客聯合知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 11700
• 代理人: 楊群

本實用新型公開了一種垂直運動Z向平臺，包括豎向設置的側板，側板上設置有相對側板豎向運動的蓋板，蓋板上端固定有頂板，頂板的兩端部分別延伸設有固定部，固定部凸出蓋板兩側面設置；側板兩端分別固定有連接板，連接板上固定有橫板，橫板上固定有氣缸，氣缸的輸出端固定于固定部上。本實用新型提供一種垂直運動Z向平臺，本實用新型采用超薄設計，能有效節省安裝空間，保證平臺的運動精度，雙氣缸平衡設計不僅美觀，還可以效減少氣振現象，通過空氣平衡負載重量，有效的避免電機長時間工作發熱現象，是高剛性和高可靠性的Z向納米定位平臺。

技術領域

本實用新型涉及定位設備，具體是一種垂直運動Z向平臺。

背景技術

在通訊領域的光纖耦合、半導體領域的wafer缺陷檢測、生物醫療領域的基因測序等技術領域中，精密定位是必要的技術，但是目前使用的精密定位設備都是能夠滿足平面式的高精度大行程定位要求，而不能滿足垂直軸的高精度大行程定位要求?，F有對垂直軸的定位是利用垂直運動的柔性鉸鏈結構來實現，而柔性鉸鏈的方式會對平臺產生較大誤差，大大降低平臺的精度。

同時，在垂直軸運行時，可能會存在掉電問題，當掉電時，工作平臺會由于重力下落，此時就會嚴重工作平臺的穩定，導致工件損壞。

實用新型內容

為解決上述現有技術方案中的缺陷，本實用新型提供一種垂直運動Z向平臺，本實用新型采用超薄設計，能有效節省安裝空間，利用直線電機和交叉滾柱導軌保證平臺的運動精度，利用雙氣缸實現穩定性。

為實現上述技術目的，本實用新型采用如下技術方案：一種垂直運動Z向平臺，包括豎向設置的側板，所述側板上設置有相對所述側板豎向運動的蓋板，所述蓋板上端固定有頂板，所述頂板的兩端部分別延伸設有固定部，所述固定部凸出所述蓋板兩側面設置；所述側板兩端分別固定有連接板，所述連接板上固定有橫板，所述橫板上固定有氣缸，所述氣缸的輸出端固定于所述固定部上；

所述側板相對所述蓋板的側面上開有容納槽，所述容納槽內設有直線電機，所述直線電機的線圈固定在所述側板上，所述直線電機的磁軌固定在所述蓋板上，所述蓋板在所述直線電機的作用下相對所述側板做上下運動；所述側板與所述蓋板之間設置有導軌；

所述容納槽內固定有讀數頭，所述讀數頭配備有光柵尺，所述光柵尺固定在所述蓋板上并隨著所述蓋板運動；

所述側板上端固定有中空的管道，所述讀數頭的線纜、所述線圈的線纜均穿過所述管道設置。

進一步地，所述磁軌上開有螺紋孔，所述螺紋孔內設有螺栓，所述螺栓將所述磁軌固定在所述蓋板上。

進一步地，所述導軌采用交叉滾柱導軌。

進一步地，所述蓋板上端部固定有上擋板，所述管道貫穿所述上擋板設置。

進一步地，所述蓋板下端部固定有下擋板。

進一步地，所述氣缸豎直設置。

綜上所述，本實用新型取得了以下技術效果：

1、本實用新型將線圈、讀數頭固定，讓磁軌、光柵尺運動，將線圈、讀數頭的線纜傳設在管道內，使得線纜不移動，不會影響運行的精度；

2、本實用新型在蓋板上設置支撐氣缸，當直線電機掉電時，氣缸會支撐住蓋板，不會讓蓋板下落，保證蓋板的穩定性從而保證工作平臺的穩定性。

附圖說明

圖1是本實用新型實施例提供的立體圖；

圖2是圖1的主視圖；

圖3是圖1的側視圖；

圖4是側板內部示意圖；

圖5是圖4的立體圖；