[實用新型]一種晶圓擴晶裝置

有效

• 申請號: 201922165821.1
• 申請日: 2019-12-06
• 公開（公告）號: CN210778500U
• 公開（公告）日: 2020-06-16
• 發明（設計）人: 劉子玉;陳勇伶
• 申請（專利權）人: 深圳市意沨科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 北京中濟緯天專利代理有限公司 11429
• 代理人: 盧春華

1.一種晶圓擴晶裝置，包括支撐板，轉動設置于支撐板的晶圓旋轉臺，活動設置并與晶圓旋轉臺配合的擴晶臺，設置于支撐板的第一驅動件、第二驅動件及卡持組件，第一驅動件用于驅動晶圓旋轉臺轉動，卡持組件用于卡持住晶圓旋轉臺，第二驅動件用于驅動擴晶臺靠近或遠離晶圓旋轉臺，擴晶臺轉動設置有與晶圓旋轉臺配合的擴晶壓板；其特征在于：第二驅動件包括轉動設置于支撐板或晶圓旋轉臺的多個絲桿、分別螺接套設在多個絲桿外側的多個螺母件，設置于一個絲桿的第一齒輪，設置于支撐板的第一電機，設置于第一電機的輸出軸的第二齒輪，活動設置的過橋齒輪，設置于支撐板并用于驅動過橋齒輪的驅動單元；驅動單元用于驅動過橋齒輪嚙合第一齒輪及第二齒輪，擴晶臺與所有螺母件連接。

2.根據權利要求1所述的晶圓擴晶裝置，其特征在于：驅動單元包括板條件、第一氣缸，板條件的中部轉動設置于支撐板，過橋齒輪包括轉動設置于板條件的第三齒輪及第四齒輪，第三齒輪與第四齒輪嚙合，第一氣缸用于驅動板條件轉動，第三齒輪用于嚙合第一齒輪，第四齒輪用于嚙合第四齒輪。

3.根據權利要求1所述的晶圓擴晶裝置，其特征在于：每一絲桿均裝設有一個第一帶輪，所有絲桿的第一帶輪外側套設有第一環帶，第一帶輪設有第一環槽，第一環槽圍繞絲桿的轉動軸線設置，第一環帶容設于第一環槽內。

4.根據權利要求1所述的晶圓擴晶裝置，其特征在于：支撐板設有貫穿支撐板的穿孔，晶圓旋轉臺位于穿孔內；支撐板轉動設置有多個支撐輪，支撐輪設有第二環槽，第二環槽環繞支撐輪的轉動軸線設置；晶圓旋轉臺設有環形肋條，多個支撐輪圍繞晶圓旋轉臺設置，環形肋條伸入第二環槽內。

5.根據權利要求1所述的晶圓擴晶裝置，其特征在于：第一驅動件包括設置于支撐板的第二電機、設置于第二電機的輸出軸的第二帶輪、套設在第二帶輪外側及晶圓旋轉臺外側第二環帶，晶圓旋轉臺設有用于容設第二環帶的第三環槽。

6.根據權利要求1所述的晶圓擴晶裝置，其特征在于：晶圓旋轉臺設有多個卡頭，多個卡頭圍繞晶圓旋轉臺的轉動軸線設置；卡持組件包括設置于支撐板的第二氣缸、與第二氣缸的活塞桿連接的卡柱，卡頭設有用于容設卡柱的卡孔。