[實用新型]一種分析二氯硅烷中金屬離子的樣品處理裝置

有效

• 申請號: 201922163776.6
• 申請日: 2019-12-06
• 公開（公告）號: CN211292754U
• 公開（公告）日: 2020-08-18
• 發明（設計）人: 楊利;黨春梅;于青玉
• 申請（專利權）人: 浙江西亞特電子材料有限公司
• 主分類號: G01N30/96
• 分類號: G01N30/96
• 代理公司: 衢州維創維邦專利代理事務所(普通合伙) 33282
• 代理人: 高永志

本實用新型涉及氣體檢測裝置技術領域，尤其是涉及一種分析二氯硅烷中金屬離子的樣品處理裝置。本實用新型的技術方案是這樣實現的：一種分析二氯硅烷中金屬離子的樣品處理裝置，包括離子色譜儀以及用于供離子色譜儀檢測的檢測箱，其特征在于：還包括用于清理檢測箱的清理裝置；所述清理裝置包括水體清洗裝置和氣體烘干裝置；所述水體清洗裝置包括儲水箱、引流管、增壓泵、兩位三通電磁換向閥、與兩位三通電磁換向閥電連接的控制器以及萬向噴頭：本實用新型的有益效果是：檢測數據準確，檢測箱內部清潔高效。

技術領域

本實用新型涉及氣體檢測裝置技術領域，尤其是涉及一種分析二氯硅烷中金屬離子的樣品處理裝置。

背景技術

在化工氣體生產加工的過程中，需要對該化工品的微觀結構進行檢測，本公司為了適應市場需求，目前在生產二氯硅烷氣體，為了生產安全，通常會采用等離子樣品處理裝置，對其為微觀結構和性質進行分析，傳統的樣品處理裝置是通過采樣裝置，向離子色譜儀中傳遞待檢測氣體；由于該設備需要檢測的氣體很多，現階段，通常是通過預充氣的方式來清理回路內的氣體，這樣的清理方式仍然會有雜質氣體粘附在運輸管道內壁上，導致檢測結果會出現誤差；其次，現階段由于氣體是自然流進檢測裝置內的，這樣的方式效率太低。

實用新型內容

針對現有技術存在的不足，本實用新型的目的在于提供一種分析二氯硅烷中金屬離子的樣品處理裝置。

本實用新型的技術方案是這樣實現的：一種分析二氯硅烷中金屬離子的樣品處理裝置，包括離子色譜儀以及用于供離子色譜儀檢測的檢測箱，其特征在于：還包括用于清理檢測箱的清理裝置；所述清理裝置包括水體清洗裝置和氣體烘干裝置；所述水體清洗裝置包括儲水箱、引流管、增壓泵、兩位三通電磁換向閥、與兩位三通電磁換向閥電連接的控制器以及萬向噴頭；所述儲水箱固定安裝在檢測箱上，儲水箱上開設有安裝槽，所述兩位三通電磁換向閥固定安裝在安裝槽內；所述引流管的一端通過所述增壓泵與兩位三通電磁換向閥的輸出回路的輸出端連通、引流管的另一端穿入檢測箱的內腔中；所述萬向噴頭固定引流管穿入檢測箱的一端上。

優選為：所述氣體烘干裝置固定安裝在檢測箱上；所述氣體烘干裝置包括儲氣瓶、空壓機、加熱器以及進氣管道；所述空壓機固定安裝在檢測箱上，且空壓機的輸入端與儲氣瓶連通，空壓機的輸出端通過進氣管道與檢測箱內腔連通；所述加熱器安裝在所述進氣管道上。

優選為：所述檢測箱上開設有出氣口和出水口，所述出氣口內安裝有抽氣泵和截止閥，所述出水口上安裝有止水閥。

優選為：所述儲水箱上安裝有用于將儲水箱內部水加熱的加熱器以及繼電器；所述加熱器與繼電器電連接。

與現有技術相比較，本實用新型帶來的有益效果為：1、通過設置有清理裝置；清理裝置中的水體清洗裝置可以通過萬向噴頭對檢測箱內壁進行沖洗，清洗檢測箱內壁上的殘留物；防止二次使用時出現氣體純度誤差；2、通過設置有氣體烘干裝置，烘干裝置使用過程中儲氣瓶內充入下一次需要檢測分析的超純氣體，然后該超純氣體通過加熱器加熱，送入檢測箱內部，將檢測箱內部的清洗液體烘干；實現進一步對檢測箱內部進行清洗；進一步提高檢測效果好；

1、通過在檢測箱上開設有出氣口，出氣口內安裝有抽氣泵，當檢測箱內積累一定量的濕蒸汽，抽氣泵和和截止閥打開將檢測箱內部的氣體抽排到室外；

2、通過在儲水箱上安裝有用于將儲水箱內部水加熱的加熱器以及繼電器；所述加熱器與繼電器電連接，但遇到檢測箱內部殘留有難以清洗的殘留物時，工作人員可以將繼電器和電源連接，然后加熱器工作將儲水箱內部的水體進行加熱，以便于更好的清理檢測箱內壁。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動性的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。