[實用新型]一種用于基板生產的真空鍍膜裝置

有效

• 申請號: 201922161356.4
• 申請日: 2019-12-05
• 公開（公告）號: CN211311576U
• 公開（公告）日: 2020-08-21
• 發明（設計）人: 嚴伯林;張軍;楊凡
• 申請（專利權）人: 鹽城牧東光電科技有限公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56;C23C14/50
• 代理公司: 北京華際知識產權代理有限公司 11676
• 代理人: 陶小麗

1.一種用于基板生產的真空鍍膜裝置，其特征在于，包括輸送機構(1)和夾持件(2)，所述夾持件(2)卡合連接在所述輸送機構(1)上，所述輸送機構(1)包括主動輪(11)、從動輪(12)和傳送帶(13)，所述主動輪(11)與所述從動輪(12)通過所述傳送帶(13)傳動連接；所述夾持件(2)包括夾持板(21)和四個夾持側件(5)，所述夾持板(21)的上端面中心處開設有卡槽(22)，四個所述夾持側件(5)分別固定安裝在所述夾持板(21)的上端面兩側，且兩個所述夾持側件(5)之間相對應，所述夾持側件(5)包括夾持側板(51)和轉動輪(52)，所述轉動輪(52)轉動連接在所述夾持側板(51)內。

2.根據權利要求1所述的一種用于基板生產的真空鍍膜裝置，其特征在于，所述夾持側板(51)上開設有與所述轉動輪(52)相適配的轉動槽(511)，所述轉動輪(52)轉動連接在所述轉動槽(511)。

3.根據權利要求2所述的一種用于基板生產的真空鍍膜裝置，其特征在于，所述轉動輪(52)的外壁粘接固定有橡膠墊(53)，所述橡膠墊(53)的外壁固定安裝有凸起(54)，所述轉動輪(52)的兩端固定安裝有轉軸(55)，所述轉動輪(52)通過所述轉軸(55)轉動連接在所述轉動槽(511)內。

4.根據權利要求1所述的一種用于基板生產的真空鍍膜裝置，其特征在于，所述傳送帶(13)上固定安裝有若干個連接槽(14)，所述夾持板(21)的底部固定安裝有與所述連接槽(14)相適配的卡塊(23)，所述夾持件(2)通過所述卡塊(23)卡合固定在所述傳送帶(13)的上端面。

5.根據權利要求1所述的一種用于基板生產的真空鍍膜裝置，其特征在于，所述夾持側板(51)為彈性片。

6.根據權利要求1所述的一種用于基板生產的真空鍍膜裝置，其特征在于，所述輸送機構(1)的前后兩側安裝有兩個加熱器(3)和兩個靶材(4)，且所述加熱器(3)位于所述靶材(4)的輸送前端。

7.根據權利要求1所述的一種用于基板生產的真空鍍膜裝置，其特征在于，所述輸送機構(1)安裝在真空室內。