[實用新型]一種用于固相沉積檢測的主機(jī)裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201922154932.2
• 申請日: 2019-12-05
• 公開（公告）號: CN211179590U
• 公開（公告）日: 2020-08-04
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 劉寶和;江海洋;劉菲;李成龍
• 申請（專利權(quán)）人: 揚州華寶石油儀器有限公司
• 主分類號: G01N25/00
• 分類號: G01N25/00;G01N21/84
• 代理公司: 北京高沃律師事務(wù)所 11569
• 代理人: 王立普

1.一種用于固相沉積檢測的主機(jī)裝置，其特征在于：包括機(jī)架、攝像單元、筒體、大活塞、小活塞、光源，所述機(jī)架具有支撐軸，所述支撐軸能夠與固相沉積分析儀的支架轉(zhuǎn)動相連，所述筒體固定于所述機(jī)架上，所述支撐軸能夠帶動所述筒體擺動，所述筒體的軸線與所述支撐軸的軸線相垂直，所述筒體的外部套設(shè)有加熱圈，加熱圈能夠?qū)ν搀w進(jìn)行加熱，所述筒體內(nèi)設(shè)置相連通的第一活塞腔和第二活塞腔，所述第一活塞腔與所述第二活塞腔分別設(shè)置于所述筒體相對的兩側(cè)，所述大活塞可滑動地設(shè)置于所述第一活塞腔內(nèi)，所述小活塞可滑動地設(shè)置于所述第二活塞腔內(nèi)，所述大活塞、所述小活塞上均套設(shè)有密封圈，所述大活塞、所述小活塞與所述筒體同軸設(shè)置，所述第一活塞腔和所述第二活塞腔均連接有排出通道，所述筒體的側(cè)壁上具有貫穿所述第二活塞腔的透光孔，所述透光孔的兩端均設(shè)置高壓玻璃，所述高壓玻璃與所述透光孔的側(cè)壁之間設(shè)置密封組件，兩個所述高壓玻璃之間具有間隙，且兩個所述高壓玻璃之間的間隙與所述第二活塞腔相連通，所述攝像單元包括相連的CCD攝像機(jī)和顯微粒度分析系統(tǒng)，所述CCD攝像機(jī)與所述光源分別設(shè)置于所述透光孔的兩側(cè)，所述光源的光線出射方向正對所述透光孔。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于固相沉積檢測的主機(jī)裝置，其特征在于：所述機(jī)架包括側(cè)板和安裝板，所述側(cè)板和所述安裝板的數(shù)量均為兩塊，兩塊所述側(cè)板平行相對設(shè)置，所述側(cè)板與所述支撐軸相連，兩塊所述安裝板分別設(shè)置于所述筒體的兩端并與所述側(cè)板相連，所述安裝板上具有允許所述大活塞、所述小活塞穿過的通孔。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于固相沉積檢測的主機(jī)裝置，其特征在于：所述筒體的外部設(shè)置保溫套，所述保溫套的兩端分別與所述安裝板相連，所述CCD攝像機(jī)與所述光源設(shè)置于所述保溫套的外部，所述保溫套上設(shè)置有與所述透光孔相匹配的通過孔。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于固相沉積檢測的主機(jī)裝置，其特征在于：所述小活塞靠近所述大活塞的一端具有圓錐部，所述圓錐部設(shè)置有排出孔，所述排出孔與所述排出通道相連通。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于固相沉積檢測的主機(jī)裝置，其特征在于：所述筒體的兩端通過螺栓與所述安裝板相連，所述筒體與所述安裝板之間設(shè)置隔熱板。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于固相沉積檢測的主機(jī)裝置，其特征在于：所述透光孔處設(shè)置壓板，所述壓板與所述筒體相連，所述壓板與所述高壓玻璃抵接，所述壓板能夠?qū)⑺龈邏翰Ａ壕o在所述筒體上，所述壓板具有與所述透光孔相匹配的孔洞。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的用于固相沉積檢測的主機(jī)裝置，其特征在于：所述高壓玻璃的軸向截面為T形，所述透光孔為與所述高壓玻璃相適配的階梯孔。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的用于固相沉積檢測的主機(jī)裝置，其特征在于：所述壓板為環(huán)形，所述密封組件包括多個間隔設(shè)置的墊圈和O型圈。

9.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于固相沉積檢測的主機(jī)裝置，其特征在于：所述側(cè)板與所述安裝板之間設(shè)置定位鍵，所述側(cè)板與所述安裝板通過螺釘連接。