[實(shí)用新型]一種分體式局部潔凈環(huán)境制造裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201922154039.X
• 申請(qǐng)日: 2019-12-04
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN210723672U
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-06-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 程曉鋒;張惠鴿;朱成銀;葉琳;秦朗;游丹;楊存榜;張濤;張可;周?chē)?guó)瑞;王洪彬
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)工程物理研究院激光聚變研究中心
• 主分類號(hào): H01S3/02
• 分類號(hào): H01S3/02;H01S3/042
• 代理公司: 重慶為信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 50216
• 代理人: 蔡冬彥

1.一種分體式局部潔凈環(huán)境制造裝置，其特征在于：包括潔凈送風(fēng)模塊和潔凈空間模塊，所述潔凈送風(fēng)模塊包括潔凈風(fēng)箱(1)以及設(shè)置在該潔凈風(fēng)箱(1)中的風(fēng)機(jī)(3)和過(guò)濾組件，所述潔凈空間模塊包括層流罩(7)以及呈扁平結(jié)構(gòu)的勻流箱(8)，所述勻流箱(8)的一側(cè)箱壁上具有勻流箱進(jìn)風(fēng)口(8a)，并通過(guò)風(fēng)管(6)與潔凈風(fēng)箱(1)的潔凈風(fēng)箱出風(fēng)口(1b)連通，該勻流箱(8)的另一側(cè)箱壁上均勻分布有用于向勻流箱(8)中送出均勻氣流的勻流箱出風(fēng)小孔(8b)，所述勻流箱(8)具有勻流箱進(jìn)風(fēng)口(8a)和勻流箱出風(fēng)小孔(8b)的兩側(cè)箱壁相互正對(duì)，且間距小于勻流箱(8)其余任意相互正對(duì)的兩側(cè)箱壁，所述勻流箱(8)中設(shè)置有阻擋在勻流箱進(jìn)風(fēng)口(8a)與各個(gè)勻流箱出風(fēng)小孔(8b)之間的擋風(fēng)隔板(8c)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種分體式局部潔凈環(huán)境制造裝置，其特征在于：所述層流罩(7)和勻流箱(8)均為長(zhǎng)方體結(jié)構(gòu)，所述勻流箱(8)設(shè)置在層流罩(7)的其中一個(gè)側(cè)壁上，且勻流箱(8)具有勻流箱進(jìn)風(fēng)口(8a)的一側(cè)扁平面與層流罩(7)的該豎直平面齊平，具有勻流箱出風(fēng)小孔(8b)的一側(cè)扁平面位于層流罩(7)中。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種分體式局部潔凈環(huán)境制造裝置，其特征在于：所述擋風(fēng)隔板(8c)為長(zhǎng)方形結(jié)構(gòu)，并與勻流箱(8)具有勻流箱進(jìn)風(fēng)口(8a)和勻流箱出風(fēng)小孔(8b)的兩側(cè)箱壁平行，該擋風(fēng)隔板(8c)的四條邊與勻流箱(8)的對(duì)應(yīng)箱壁之間均留有間隙。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種分體式局部潔凈環(huán)境制造裝置，其特征在于：所述層流罩(7)的頂面為密封結(jié)構(gòu)，該層流罩(7)未設(shè)置勻流箱(8)的其余三個(gè)側(cè)壁均能夠流出氣體。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種分體式局部潔凈環(huán)境制造裝置，其特征在于：所述層流罩(7)未設(shè)置勻流箱(8)的其余三個(gè)側(cè)壁均由均勻懸掛的垂簾(9)構(gòu)成。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種分體式局部潔凈環(huán)境制造裝置，其特征在于：所述過(guò)濾組件包括設(shè)置在潔凈風(fēng)箱(1)的潔凈風(fēng)箱進(jìn)風(fēng)口(1a)與風(fēng)機(jī)(3)進(jìn)風(fēng)端之間的一級(jí)過(guò)濾器(2)以及設(shè)置在風(fēng)機(jī)(3)出風(fēng)端與潔凈風(fēng)箱出風(fēng)口(1b)之間的二級(jí)過(guò)濾器(4)，所述二級(jí)過(guò)濾器(4)的凈化能力強(qiáng)于一級(jí)過(guò)濾器(2)的凈化能力。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種分體式局部潔凈環(huán)境制造裝置，其特征在于：所述潔凈風(fēng)箱(1)的底部設(shè)置有萬(wàn)向輪(5)。