[實用新型]一種真空測量計

有效

• 申請號: 201922153890.0
• 申請日: 2019-12-05
• 公開（公告）號: CN210833993U
• 公開（公告）日: 2020-06-23
• 發明（設計）人: 紀宇圣
• 申請（專利權）人: 上海弗華機電設備有限公司
• 主分類號: G01L21/00
• 分類號: G01L21/00;G01L21/12;G01L19/06
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型屬于真空測量領域，公開了一種真空測量計，包括規管信號線、真空計、KF真空快開三通、測量緩沖腔、真空測量探頭保護物質、計算機、規管連接法蘭、壓力傳感器、傳感器信號線、壓力傳感器連接法蘭、第二快開法蘭、第一快開法蘭和底擋板；真空計通過規管連接法蘭與KF真空快開三通的第一個開口連接，壓力傳感器通過壓力傳感器連接法蘭與KF真空快開三通的第二個開口連接；測量緩沖腔的第一個開口通過第二快開法蘭與KF真空快開三通的第三個開口連接，底擋板與測量緩沖腔的第二個開口連接，測量緩沖腔的第二個開口再通過第一快開法蘭與被測量系統連接。本實用新型精度高、量程大；保護真空測量探頭避免被氣體污染、腐蝕，延長了使用壽命。

技術領域

本發明屬于真空測量領域，尤其涉及一種真空測量計。

背景技術

真空計，又名真空表，是測量真空度或氣壓的儀器。一般是利用不同氣壓下氣體的某種物理效應的變化進行氣壓的測量。在科研和工業生產中廣泛使用。

按照真空計測量原理所利用的不同的物理機制，可將主要的真空計分為三大類，分別是利用力學性能、利用氣體動力學效應和利用帶電粒子效應的真空計。利用力學性能的真空計典型的有波爾登規Bourdon和薄膜電容規；利用氣體動力學效應的典型真空計有皮拉尼Pirani電阻規和熱電偶規；利用帶電粒子效應的典型真空計有熱陰極電離規和冷陰極電離規。

波爾登規：細的銅管受氣體壓力不同會有舒展現象，會帶動杠桿和齒輪旋轉，使得指針指示在不同刻度上，即可讀出相應的氣壓值。這種規的測量范圍一般在100Pa至1atm。

薄膜電容規：在不同壓力下金屬膜片受力不同會有不同尺度的變形，使得金屬膜片和電極之間的電容變化，通過測量電容的變化量，即可知道金屬膜片上氣壓的變化。這種規的測量范圍一般橫跨4個量級，比如可能是0.01Pa至100Pa、0.1Pa至1000Pa等。

皮拉尼電阻規：它是利用電阻與溫度之間關系的原理工作的。由于不同氣壓下氣體分子熱傳導能力不同，當給熱絲加恒定的電流時，由于氣壓不同通過氣體傳導走的熱量不同，熱絲所保持的溫度就不同，這導致熱絲電阻大小不同，通過測量熱絲電阻大小就可以推算氣壓大小。

熱陰極電離規：熱陰極電離規中，由熱陰極即燈絲發射電子，電離真空中的氣體分子，產生離子，由收集極收集產生的離子，形成離子電流，通過測量離子電流的大小即可推算出真空中氣體分子的密度，進而得到氣壓大小。

申請號為CN201811369418.4的專利公開了電離真空計保護裝置，涉及一種電離真空計保護裝置，包括緩沖管、螺旋管、金屬柵網以及金屬柵網負電位電源；緩沖管包括第一緩沖管以及第二緩沖管；第一緩沖管通過螺旋管與第二緩沖管相連通；金屬柵網置于第二緩沖管中并與置于第二緩沖管外部的金屬柵網負電位電源相連；第二緩沖管接地。本發明提供了一種可有效減少進入真空計傳感器的金屬粒子和塵土等雜質、顯著減少高溫環境下冷陰極與熱陰極真空計傳感器陰極金屬粒子污染以及可延長離子真空計使用壽命的電離真空計保護裝置。但該裝置只針對了金屬粒子和塵土，而對真空測量中更常出現的氣體污染物對真空計的損害沒有加以考慮。

發明內容

本發明的目的在于公開精度高、量程大、使用壽命長的一種真空測量計。

本發明的目的是這樣實現的：

一種真空測量計，包括：規管信號線1-1、真空計1、KF真空快開三通2、測量緩沖腔3、真空測量探頭保護物質4、計算機7、規管連接法蘭1-2、壓力傳感器6、傳感器信號線6-1、壓力傳感器連接法蘭6-2、第二快開法蘭3-3、第一快開法蘭3-1和底擋板3-2；