[實(shí)用新型]晶圓調(diào)節(jié)裝置及晶圓傳送系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201922152480.4
• 申請(qǐng)日: 2019-12-03
• 公開（公告）號(hào): CN210668297U
• 公開（公告）日: 2020-06-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 高鵬飛
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 長(zhǎng)鑫存儲(chǔ)技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67;H01L21/677
• 代理公司: 上海晨皓知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31260
• 代理人: 成麗杰

1.一種晶圓調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，包括：

承載部件，所述承載部件包括承載晶圓的第一承載組件和第二承載組件，所述第一承載組件位于所述第二承載組件上方，所述第一承載組件具有容置所述第二承載組件的容納空間，所述第二承載組件相對(duì)于所述第一承載組件可活動(dòng)和所述第一承載組件相對(duì)于所述第二承載組件可活動(dòng)；

偵測(cè)裝置，所述偵測(cè)裝置設(shè)置在所述承載部件上，且所述第一承載組件和所述第二承載組件位于所述偵測(cè)裝置的偵測(cè)范圍之內(nèi)，所述偵測(cè)裝置用于偵測(cè)所述晶圓以獲取偵測(cè)信息；

調(diào)整裝置，所述調(diào)整裝置連接所述第一承載組件和所述第二承載組件，帶動(dòng)所述第一承載組件相對(duì)于所述第二承載組件活動(dòng)和帶動(dòng)所述第二承載組件相對(duì)于所述第一承載組件活動(dòng)；

分析控制器，所述分析控制器與所述偵測(cè)裝置和所述調(diào)整裝置連接，所述分析控制器接收所述偵測(cè)裝置的偵測(cè)信息，對(duì)所述偵測(cè)信息進(jìn)行分析處理，并根據(jù)處理結(jié)果對(duì)所述調(diào)整裝置發(fā)出處理信號(hào)，所述調(diào)整裝置根據(jù)所述處理信號(hào)帶動(dòng)所述第一承載組件相對(duì)于所述第二承載組件活動(dòng)和帶動(dòng)所述第二承載組件相對(duì)于所述第一承載組件活動(dòng)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述偵測(cè)裝置包括：分別位于所述承載部件相對(duì)兩側(cè)的光發(fā)射器件和光感應(yīng)器件；在所述偵測(cè)裝置工作期間，所述光發(fā)射器件發(fā)出的檢測(cè)光線的傳輸路徑與所述晶圓邊緣具有交點(diǎn)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的晶圓調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述光發(fā)射器件發(fā)出的檢測(cè)光線的傳輸路徑與所述晶圓邊緣具有交點(diǎn)。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的晶圓調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，還包括：遮光壁，所述遮光壁包圍所述光感應(yīng)器件。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述第一承載組件可相對(duì)于所述第二承載組件水平移動(dòng)，所述第二承載組件可向朝向所述第一承載組件的方向升起和向遠(yuǎn)離所述第一承載組件的方向下降。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述偵測(cè)裝置包括數(shù)據(jù)分析單元，所述數(shù)據(jù)分析單元用于判斷是否可以根據(jù)當(dāng)前偵測(cè)到的所述晶圓的位置信息得到所述晶圓的初始位置坐標(biāo)信息。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，還包括：感應(yīng)裝置，所述感應(yīng)裝置設(shè)置在所述第一承載組件上；所述分析控制器與所述感應(yīng)裝置連接，所述分析控制器接收所述感應(yīng)裝置的感應(yīng)信息，對(duì)所述感應(yīng)信息進(jìn)行分析處理。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述第一承載組件包括三爪式支撐架或三點(diǎn)式支撐架。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述第二承載組件具有可伸縮性。

10.一種晶圓傳送系統(tǒng)，其特征在于，包括如權(quán)利要求1～9任一項(xiàng)所述的晶圓調(diào)節(jié)裝置，還包括：

晶圓傳送臺(tái)，用于承載并傳送晶圓；

晶圓偏移檢測(cè)裝置，用于檢測(cè)位于所述晶圓傳送臺(tái)上的晶圓是否發(fā)生偏移；

晶圓轉(zhuǎn)移裝置，用于在所述晶圓偏移檢測(cè)裝置檢測(cè)到所述晶圓發(fā)生偏移時(shí)，將所述晶圓轉(zhuǎn)移至所述晶圓調(diào)節(jié)裝置中，且還用于將所述晶圓從所述晶圓調(diào)節(jié)裝置轉(zhuǎn)移至所述晶圓傳送臺(tái)上。