[實用新型]用于檢測硅片承載花籃的檢具

有效

• 申請號: 201922146165.0
• 申請日: 2019-12-04
• 公開（公告）號: CN211291407U
• 公開（公告）日: 2020-08-18
• 發明（設計）人: 陳林
• 申請（專利權）人: 楚雄隆基硅材料有限公司
• 主分類號: G01B21/22
• 分類號: G01B21/22;G01B21/24
• 代理公司: 北京工信聯合知識產權代理有限公司 11266
• 代理人: 白曉晰

1.一種用于檢測硅片承載花籃的檢具，其特征在于，所述檢具包括：

兩個檢測單元，各個檢測單元上均設有檢測部，所述檢測部用于檢測所述硅片承載花籃上的對應的定位槽組；

可調連接件，其連接兩個所述檢測單元，且通過所述可調連接件能夠對檢測部兩個所述檢測部之間的距離進行調節。

2.根據權利要求1所述的用于檢測硅片承載花籃的檢具，其特征在于，各所述檢測單元上相對的一側均設有固定板，兩個所述檢測單元各自的固定板分別與所述可調連接件連接。

3.根據權利要求2所述的用于檢測硅片承載花籃的檢具，其特征在于，各所述檢測單元上均設有兩個所述固定板。

4.根據權利要求1或2或3所述的用于檢測硅片承載花籃的檢具，其特征在于，兩個所述檢測單元的檢測部彼此平行且相對背離設置；

并且，各個所述檢測單元分別用于檢測對應的一定位槽組，每個定位槽組包括彼此平行且間隔預設距離設置的兩列定位槽。

5.根據權利要求1所述的用于檢測硅片承載花籃的檢具，其特征在于，所述檢測部上陣列設置有多個檢測片，各個所述檢測片分別用于卡入所述定位槽組上對應的定位槽內，來檢測所述定位槽組上各個所述定位槽之間的平行度和對稱度；

各所述檢測片的長度大于等于所述定位槽組的上兩列定位槽之間的間隔距離，從而使得所述檢測片同時卡入對應的定位槽組的兩列定位槽內。

6.根據權利要求1所述的用于檢測硅片承載花籃的檢具，其特征在于，所述可調連接件設有兩組，兩組所述可調連接件分別設于兩個所述檢測單元長度方向上的兩側。

7.根據權利要求6所述的用于檢測硅片承載花籃的檢具，其特征在于，各組所述可調連接件包括：

定位板，所述定位板上開設有至少兩個螺紋孔，定位板設于所述檢測單元的一側的外側面上；

緊固螺栓，穿過所述檢測單元并旋擰于所述螺紋孔內。

8.根據權利要求7所述的用于檢測硅片承載花籃的檢具，其特征在于，各個所述檢測單元的外壁上分別開設有卡槽，用于定位板的卡入，各個所述卡槽的底壁上分別開設有條形的貫通孔，所述貫通孔用于所述緊固螺栓的穿過。

9.根據權利要求8所述的用于檢測硅片承載花籃的檢具，其特征在于，各所述緊固螺栓均從各所述檢測單元的內側穿出對應的所述貫通孔，并螺紋連接于所述定位板上。

10.根據權利要求7-9任一項所述的用于檢測硅片承載花籃的檢具，其特征在于，各所述可調連接件還包括：

調距螺栓，其螺紋連接于一所述檢測單元上，貫穿該檢測單元并頂觸于對側的所述檢測單元。