[實用新型]一種接觸式芯片檢測設備

有效

• 申請號: 201922144380.7
• 申請日: 2019-12-02
• 公開（公告）號: CN211627746U
• 公開（公告）日: 2020-10-02
• 發明（設計）人: 彭義青;冼平東;黃明春;王量;容金波;吳述林;黃為民;周厚利;黎啟造;譚建軍
• 申請（專利權）人: 深圳市泰克光電科技有限公司
• 主分類號: G01R31/28
• 分類號: G01R31/28;G01R1/02
• 代理公司: 深圳市深可信專利代理有限公司 44599
• 代理人: 丘杰昌

本實用新型公開了一種接觸式芯片檢測設備，包括機架及直接或間接地安裝在機架上的頂升檢測組件、探針組件、多軸芯片承載組件、攝像組件，所述多軸芯片承載組件用于承載被檢測芯片，所述頂升檢測組件設置在多軸芯片承載組件底部，頂升檢測組件包括芯片檢測裝置并可驅動芯片檢測裝置上升并使得芯片檢測裝置與多軸芯片承載組件上的被檢測芯片接觸，所述探針組件可打開一個分隔間隙并供攝像組件對被檢測芯片進行攝像標記。該種接觸式芯片檢測設備具有結構簡單、實施成本低、性能穩定可靠、檢測精度高、檢測效率高、節省時間等現有技術所不具備的優點。

技術領域

本實用新型涉及芯片檢測領域，特別是一種接觸式芯片檢測設備。

背景技術

在芯片檢測領域，現有芯片檢測設備中，芯片在檢測時需要先導通芯片，芯片發光后其光線需要透過一個隔空空間或隔空玻璃再被芯片檢測裝置進行檢測分析，由于隔空空間或隔空玻璃的影響，芯片檢測的精確度及準確度會降低，且容易受到周圍環境的影響，檢測效果不佳；另外，在現有芯片檢測設備中，探針組件是閉合不可打開的，在需要對芯片進行攝像定位時，整個設備需要進行較大幅度及較多步驟的動作才能完成整個攝像標記工作，耗費的時間成本高，降低了檢測效率；再有，在現有設備中，探針組件的探針需要運動到芯片的觸腳處并對芯片導通，在該種動作模式容易導致觸腳接觸不良，一次檢測過程需要多個組件配合運動，檢測動作工序多，進一步耗費大量的時間，也進一步降低檢測效率，整個設備的結構也更加復雜，安裝難度更高，實施成本高，性能穩定性差。

有鑒于此，本實用新型的目的在于提供一種新的技術方案以解決現存的技術缺陷。

實用新型內容

為了克服現有技術的不足，本實用新型提供一種接觸式芯片檢測設備，解決了現有技術存在的結構復雜、性能穩定性差、檢測精度及準確度低、檢測動作工作工序多、時間成本高、檢測效率低下等技術缺陷。

本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是：

一種接觸式芯片檢測設備，包括機架及直接或間接地安裝在機架上的頂升檢測組件、探針組件、多軸芯片承載組件、攝像組件，所述多軸芯片承載組件用于承載被檢測芯片，所述頂升檢測組件設置在多軸芯片承載組件底部，頂升檢測組件包括芯片檢測裝置頂升檢測組件可驅動芯片檢測裝置上升并使得芯片檢測裝置與多軸芯片承載組件上的被檢測芯片接觸。

作為上述技術方案的改進，所述頂升檢測組件包括直接或間接固定在機架上的檢測組件安裝板及設置在檢測組件安裝板上的檢測組件水平導軌、檢測組件水平氣缸，所述檢測組件水平導軌上設置有檢測組件水平滑動安裝板，所述檢測組件水平氣缸的輸出端連接到檢測組件水平滑動安裝板上并可推動檢測組件水平滑動安裝板在檢測組件水平導軌上滑動，所述檢測組件水平滑動安裝板上設置有檢測組件豎直安裝板，所述檢測組件豎直安裝板上設置有檢測組件豎直導軌、檢測組件頂升絲桿螺母副及檢測組件頂升驅動電機，所述檢測組件豎直導軌上設置有檢測組件豎直滑動安裝座，所述檢測組件頂升驅動電機的輸出端連接到檢測組件頂升絲桿螺母副的絲桿一端，所述檢測組件頂升絲桿螺母副的螺母連接到檢測組件豎直滑動安裝座上，所述檢測組件豎直滑動安裝座上固定安裝有所述的芯片檢測裝置。

作為上述技術方案的進一步改進，所述芯片檢測裝置為積分球檢測裝置，所述積分球檢測裝置的上部孔口處設置有透明玻璃蓋；

所述檢測組件水平氣缸通過水平氣缸安裝座固定安裝在檢測組件安裝板底部，檢測組件水平氣缸的輸出端通過水平氣缸連接塊固定連接到檢測組件水平滑動安裝板上；

作為上述技術方案的進一步改進，所述檢測組件水平滑動安裝板側部設置有水平滑動限位塊，所述檢測組件安裝板底部設置有配合所述水平滑動限位塊使用的水平滑動限位座，所述水平滑動限位座上設置有彈性限位桿；

作為上述技術方案的進一步改進，所述檢測組件頂升驅動電機通過頂升驅動電機安裝座安裝在檢測組件豎直安裝板底部，檢測組件頂升驅動電機的輸出端設置有檢測組件聯軸器并通過所述檢測組件聯軸器連接到檢測組件頂升絲桿螺母副的絲桿一端；