[實用新型]一種寬范圍殘余氣體分析系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201922141817.1
• 申請日: 2019-12-04
• 公開（公告）號: CN211061466U
• 公開（公告）日: 2020-07-21
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 顧鵬
• 申請（專利權(quán)）人: 四川宏勝杰機電設(shè)備有限公司
• 主分類號: G01N27/62
• 分類號: G01N27/62
• 代理公司: 成都為知盾專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 51267
• 代理人: 李漢強

本實用新型公開了一種寬范圍殘余氣體分析系統(tǒng)，其包括前級泵、分子泵、質(zhì)譜儀、多功能進樣器、電源、控制閥組，所述前級泵和分子泵連接，分子泵和質(zhì)譜儀連接，多功能進樣器安裝在質(zhì)譜儀上，電源分別與控制閥組和前級泵電性連接，控制閥組與多功能進樣器連接。本實用新型應(yīng)對前端壓力范圍較廣，能適應(yīng)大部分工況壓力，省去頻繁拆卸設(shè)備的操作，大大提高了工作效率。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型屬于樣品分析技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種寬范圍殘余氣體分析系統(tǒng)。

背景技術(shù)

隨著經(jīng)濟和科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，氣體應(yīng)用的領(lǐng)域不斷被開發(fā)，氣體應(yīng)用在國民經(jīng)濟中有著重要的作用，氣體被廣泛地應(yīng)用在化工、冶金、石油、石化、機械、電子、輕工等諸多技術(shù)領(lǐng)域。

現(xiàn)有技術(shù)中，質(zhì)譜分析系統(tǒng)為體積大、占地空間多、質(zhì)量重的大型精密設(shè)備，不易搬運和安裝。在進行氣體分析前還需要自行組裝輔助設(shè)備，如抽真空設(shè)備、氣體分析系統(tǒng)、氣體進樣等。由于組裝工作涉及到多種專業(yè)知識，如果無專業(yè)人員指導(dǎo)自行組裝，會使得質(zhì)譜分析結(jié)果不準(zhǔn)確，所得數(shù)據(jù)誤差大，而且操作過程繁瑣，所要求的操作人員多。

實用新型內(nèi)容

為克服上述存在之不足，本實用新型的發(fā)明人通過長期的探索嘗試以及多次的實驗和努力，不斷改革與創(chuàng)新，提出了一種寬范圍殘余氣體分析系統(tǒng)，其質(zhì)譜儀前端所承受的壓力范圍較廣，可以適應(yīng)大部分工況壓力，結(jié)構(gòu)簡單，為一體化設(shè)計，可以省去頻繁拆卸或安裝設(shè)備，大大提高工作效率。

為實現(xiàn)上述目的本實用新型所采用的技術(shù)方案是：提供一種寬范圍殘余氣體分析系統(tǒng)，其包括前級泵、分子泵、質(zhì)譜儀、多功能進樣器、電源、控制閥組，所述前級泵和分子泵連接，分子泵和質(zhì)譜儀連接，多功能進樣器安裝在質(zhì)譜儀上，電源分別與控制閥組和前級泵電性連接，控制閥組與多功能進樣器連接。

根據(jù)本實用新型所述的寬范圍殘余氣體分析系統(tǒng)，其進一步的技術(shù)方案是：還包括支撐架，支撐架為立方體框架，支撐架上方設(shè)有安裝平臺。

根據(jù)本實用新型所述的寬范圍殘余氣體分析系統(tǒng)，其進一步的技術(shù)方案是：所述安裝平臺上還設(shè)有降溫裝置，所述降溫裝置位于分子泵側(cè)邊。

根據(jù)本實用新型所述的寬范圍殘余氣體分析系統(tǒng)，其進一步的技術(shù)方案是：所述多功能進樣器和分子泵之間通過氣體管道連接。

根據(jù)本實用新型所述的寬范圍殘余氣體分析系統(tǒng)，其進一步的技術(shù)方案是：所述多功能進樣器包括安裝底座、波紋管閥頭、毛細管、轉(zhuǎn)接頭，所述轉(zhuǎn)接頭安裝在安裝底座一側(cè)，所述波紋管閥頭安裝在安裝底座側(cè)壁，所述毛細管安裝在轉(zhuǎn)接頭內(nèi)。

根據(jù)本實用新型所述的寬范圍殘余氣體分析系統(tǒng)，其進一步的技術(shù)方案是：所述安裝底座內(nèi)設(shè)有進樣孔，進樣孔一端與毛細管連通，另一端和質(zhì)譜儀連通。

根據(jù)本實用新型所述的寬范圍殘余氣體分析系統(tǒng)，其進一步的技術(shù)方案是：所述安裝底座內(nèi)設(shè)有小孔適配器。

根據(jù)本實用新型所述的寬范圍殘余氣體分析系統(tǒng)，其進一步的技術(shù)方案是：所述波紋管閥頭上設(shè)有接頭，接頭通過氣管和控制閥組連接。

根據(jù)本實用新型所述的寬范圍殘余氣體分析系統(tǒng)，其進一步的技術(shù)方案是：所述轉(zhuǎn)接頭上設(shè)有真空規(guī)。

根據(jù)本實用新型所述的寬范圍殘余氣體分析系統(tǒng)，其進一步的技術(shù)方案是：所述分子泵和質(zhì)譜儀通過超高真空法蘭連接。

相比現(xiàn)有技術(shù)，本實用新型的技術(shù)方案具有如下優(yōu)點/有益效果：

本實用新型質(zhì)譜儀前端所承受的壓力范圍較廣，可以適應(yīng)大部分工況壓力，結(jié)構(gòu)簡單，為一體化設(shè)計，可以省去頻繁拆卸或安裝設(shè)備，大大提高工作效率。