[實用新型]一種用于光分路器晶圓貼片加工夾具有效
| 申請號： | 201922141540.2 | 申請日： | 2019-12-02 |
| 公開（公告）號： | CN211029752U | 公開（公告）日： | 2020-07-17 |
| 發明（設計）人： | 羅宗元 | 申請（專利權）人： | 深圳市輝耀智佳實業有限公司 |
| 主分類號： | B25B11/00 | 分類號： | B25B11/00;F16B11/00 |
| 代理公司： | 深圳市匯信知識產權代理有限公司 44477 | 代理人： | 張志凱 |
| 地址： | 518000 廣東省深圳市龍崗區平湖*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 用于 分路 器晶圓貼片 加工 夾具 | ||
1.一種用于光分路器晶圓貼片加工夾具，其特征在于：該結構合理，使用方便，易于定位貼片且提高成品質量的于光分路器晶圓貼片加工夾具；包括：底座(1)、三爪卡盤(2)、支撐柱(3)、真空吸盤(4)、螺母(5)、晶圓貼片(6)、蓋板(7)、上蓋(8)、支撐臂(9)、螺桿(10)、壓板(11)；所述底座(1)上設置有三爪卡盤(2)，且三爪卡盤(2)的底部通過支撐柱(3)與底座(1)固定連接；所述三爪卡盤(2)的中間設置有真空吸盤(4)，且真空吸盤(4)通過螺母(5)與三爪卡盤(2)相連接；所述三爪卡盤(2)的頂面上依次設置有晶圓貼片(6)、蓋板(7)及上蓋(8)；所述底座(1)的一側設置有支撐臂(9)，且支撐臂(9)通過焊接方式與底座(1)相連接；所述螺桿(10)的下端設置有壓板(11)，且螺桿(10)通過螺紋與支撐臂(9)相連接。
2.根據權利要求1所述的一種用于光分路器晶圓貼片加工夾具，其特征在于：所述三爪卡盤(2)的卡爪為圓柱狀結構設置，且上蓋(8)通過貫穿方式與三爪卡盤(2)的卡爪相連接。
3.根據權利要求2所述的一種用于光分路器晶圓貼片加工夾具，其特征在于：所述上蓋(8)上開設有三處與三爪卡盤(2)卡爪一一對應的通孔，且所述通孔為長圓孔，并且三處通孔呈環形陣列式分布。
4.根據權利要求1所述的一種用于光分路器晶圓貼片加工夾具，其特征在于：所述三爪卡盤(2)的中間設置有用于安放真空吸盤(4)的通孔，且真空吸盤(4)的頂面與三爪卡盤(2)的頂面相對齊。
5.根據權利要求1所述的一種用于光分路器晶圓貼片加工夾具，其特征在于：所述螺母(5)焊接在三爪卡盤(2)底部的中間，且螺母(5)通過螺紋與真空吸盤(4)相連接。
6.根據權利要求1所述的一種用于光分路器晶圓貼片加工夾具，其特征在于：所述壓板(11)的外形呈圓形狀，且壓板(11)與三爪卡盤(2)為同軸式結構設置。
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