[實用新型]一種新型的靶材邦定機構(gòu)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201922140925.7
• 申請日: 2019-12-03
• 公開（公告）號: CN210945764U
• 公開（公告）日: 2020-07-07
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 胡茂橫;張劍華;馮群
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳恒泰克科技有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34
• 代理公司: 深圳市中科創(chuàng)為專利代理有限公司 44384
• 代理人: 宋鵬躍;彭濤

1.一種新型的靶材邦定機構(gòu)，其特征在于，包括一具有加熱與冷卻的組件、設(shè)置該組件內(nèi)的一靶材機構(gòu)、與該組件配合且設(shè)置在靶材機構(gòu)內(nèi)的一芯桿加熱器、以及與芯桿加熱器連接的一驅(qū)動機構(gòu)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的新型的靶材邦定機構(gòu)，其特征在于，所述靶材機構(gòu)包括一靶材、以及設(shè)置靶材內(nèi)的一靶筒；所述具有加熱與冷卻的組件用于給靶材加熱與冷卻，與之配合的芯桿加熱器設(shè)置在靶筒內(nèi)，用于給靶筒加熱。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的新型的靶材邦定機構(gòu)，其特征在于，所述具有加熱與冷卻的組件包括一鋁部件、以及澆鑄在鋁部件內(nèi)一加熱器與一第一冷卻器。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的新型的靶材邦定機構(gòu)，其特征在于，所述新型的靶材邦定機構(gòu)還包括一第二冷卻器，該第二冷卻器設(shè)置在靶筒下方且與芯桿加熱器連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的新型的靶材邦定機構(gòu)，其特征在于，所述新型的靶材邦定機構(gòu)還包括支撐座，靶筒與靶材對應(yīng)設(shè)置在支撐座上。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的新型的靶材邦定機構(gòu)，其特征在于，所述新型的靶材邦定機構(gòu)還包括支撐桿、該支撐桿設(shè)置在支撐座之間，對應(yīng)的第二冷卻器設(shè)置在支撐桿上。

7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的新型的靶材邦定機構(gòu)，其特征在于，所述新型的靶材邦定機構(gòu)還包括一冷卻管，該冷卻管設(shè)置在第二冷卻器底部。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的新型的靶材邦定機構(gòu)，其特征在于，所述第二冷卻器的外徑小于靶筒內(nèi)徑。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的新型的靶材邦定機構(gòu)，其特征在于，所述驅(qū)動機構(gòu)為電動葫蘆，該電動葫蘆能驅(qū)動芯桿加熱器在靶筒內(nèi)上下運動，進而帶動第二冷卻器在靶筒內(nèi)上下運動。