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[實(shí)用新型]一種大電流絕緣體上硅橫向絕緣柵雙極型晶體管有效

專(zhuān)利信息
申請(qǐng)?zhí)枺?/td> 201922134203.0 申請(qǐng)日: 2019-12-03
公開(kāi)(公告)號(hào): CN210723040U 公開(kāi)(公告)日: 2020-06-09
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 田濤;張營(yíng) 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人: 濟(jì)寧學(xué)院
主分類(lèi)號(hào): H01L29/739 分類(lèi)號(hào): H01L29/739;H01L29/06
代理公司: 青島發(fā)思特專(zhuān)利商標(biāo)代理有限公司 37212 代理人: 丁鵬鵬
地址: 272001 山東省濟(jì)寧*** 國(guó)省代碼: 山東;37
權(quán)利要求書(shū): 查看更多 說(shuō)明書(shū): 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 一種 電流 絕緣體 橫向 絕緣 柵雙極型 晶體管
【權(quán)利要求書(shū)】:

1.一種大電流絕緣體上硅橫向絕緣柵雙極型晶體管,包括P型襯底(1),P型襯底(1)的上方依次設(shè)有埋氧(2)、N型外延層(3)和N型緩沖層(4),N型外延層(3)的上方設(shè)有晶體管的陽(yáng)極、陰極和柵極,其特征在于:所述的N型外延層(3)的上方設(shè)有NMOS管A(25)、自偏置PMOS管B(26)和NMOS管C(27),N型外延層(3)的上方一側(cè)設(shè)有第一P型阱區(qū)(7)和第二P型阱區(qū)(19),第一P型阱區(qū)(7)和第二P型阱區(qū)(19)分別靠近晶體管的陽(yáng)極和陰極,其中NMOS管A(25)設(shè)置在第二P型阱區(qū)(19)內(nèi),自偏置PMOS管B(26)跨接在所述第一P型阱區(qū)(7)和第二P型阱區(qū)(19)之間,NMOS管C(27)跨接在第一P型阱區(qū)(7)和N型外延層(3)之間,NMOS管A(25)與自偏置PMOS管B(26)相連,NMOS管A(25)包括A管N+漏區(qū)(20)、A管N+源區(qū)(18),自偏置PMOS管B(26)包括B管P+漏區(qū)(17),NMOS管C(27)包括C管N+源區(qū)(9),其中A管N+漏區(qū)(20)與C管N+源區(qū)(9)互連,A管N+源區(qū)(18)與B管P+漏區(qū)(17)相連后通過(guò)陰極金屬(16)短接引出作為晶體管的陰極,N型緩沖層(4)設(shè)置在N型外延層(3)的一側(cè),N型緩沖層(4)上層遠(yuǎn)離晶體管陰極方向的一側(cè)設(shè)有P+陽(yáng)極區(qū)(5),C管N+源區(qū)(9)、第一P型阱區(qū)(7)、N型外延層(3)共同構(gòu)成NPN型寄生三極管,第一P型阱區(qū)(7)、N型外延層(3)和P+陽(yáng)極區(qū)(5)共同構(gòu)成PNP型三極管。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種大電流絕緣體上硅橫向絕緣柵雙極型晶體管,其特征在于:所述的P+陽(yáng)極區(qū)(5)上方設(shè)有陽(yáng)極金屬(6),陽(yáng)極金屬(6)引出作為晶體管的陽(yáng)極。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種大電流絕緣體上硅橫向絕緣柵雙極型晶體管,其特征在于:所述的NMOS管A(25)還包括A管多晶硅柵極(22),NMOS管C(27)還包括C管多晶硅柵極(11),A管多晶硅柵極(22)和C管多晶硅柵極(11)相連后作為晶體管的柵極。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種大電流絕緣體上硅橫向絕緣柵雙極型晶體管,其特征在于:所述的NMOS管A(25)還包括A管柵氧化層(23),A管柵氧化層(23)的下表面分別與A管N+漏區(qū)(20)和A管N+源區(qū)(18)的上表面接觸,A管多晶硅柵極(22)位于A管柵氧化層(23)的上方,A管N+漏區(qū)(20)上方設(shè)有A管金屬(21),所述A管金屬(21)、A管多晶硅柵極(22)和陰極金屬(16)是互不相連的。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種大電流絕緣體上硅橫向絕緣柵雙極型晶體管,其特征在于:所述的自偏置PMOS管B(26)還包括B管多晶硅柵極(14),B管多晶硅柵極(14)與陰極金屬(16)相連。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種大電流絕緣體上硅橫向絕緣柵雙極型晶體管,其特征在于:所述的自偏置PMOS管B(26)還包括B管P+源區(qū)(13)和B管柵氧化層(15),B管柵氧化層(15)的下表面分別與B管P+漏區(qū)(17)和B管P+源區(qū)(13)的上表面接觸,B管多晶硅柵極(14)位于B管柵氧化層(15)的上方,陰極金屬(16)位于B管P+漏區(qū)(17)上方,A管N+源區(qū)(18)和B管P+漏區(qū)(17)分別位于陰極金屬(16)下方兩側(cè)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種大電流絕緣體上硅橫向絕緣柵雙極型晶體管,其特征在于:所述的NMOS管C(27)還包括C管柵氧化層(10),C管多晶硅柵極(11)位于C管柵氧化層(10)的上方。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種大電流絕緣體上硅橫向絕緣柵雙極型晶體管,其特征在于:所述的C管N+源區(qū)(9)和B管P+源區(qū)(13)相鄰,C管N+源區(qū)(9)上方設(shè)有C管金屬(12),C管多晶硅柵極(11)、C管金屬(12)、B管多晶硅柵極(14)是互不相連的,A管金屬(21)和C管金屬(12)相互連接。

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