[實用新型]用于掩膜版制作的氣體供給裝置

有效

• 申請號: 201922133039.1
• 申請日: 2019-11-29
• 公開（公告）號: CN211009034U
• 公開（公告）日: 2020-07-14
• 發明（設計）人: 葉小龍;王棟
• 申請（專利權）人: 深圳市龍圖光電有限公司
• 主分類號: F04B41/06
• 分類號: F04B41/06;F04B41/02;F04B39/16;F04B39/00;F04B49/10
• 代理公司: 深圳鼎合誠知識產權代理有限公司 44281
• 代理人: 郭燕;彭家恩

1.一種用于掩膜版制作的氣體供給裝置，其特征在于，包括控制設備、主供氣設備、輔助供氣設備以及緩壓儲氣罐；所述主供氣設備和輔助供氣設備中，一個采用螺桿式空氣壓縮機，另一個采用活塞式空氣壓縮機；

所述控制設備分別與所述螺桿式空氣壓縮機和所述活塞式空氣壓縮機連接，用以控制所述螺桿式空氣壓縮機和所述活塞式空氣壓縮機的打開和關閉，所述螺桿式空氣壓縮機通過第一管道與所述緩壓儲氣罐進行連通，所述活塞式空氣壓縮機通過第二管道與所述緩壓儲氣罐進行連通，所述緩壓儲氣罐具有用于與用氣設備連通的出氣通道。

2.如權利要求1所述的氣體供給裝置，其特征在于，所述第一管道上設有第一單向閥；所述第二管道上設有第二單向閥。

3.如權利要求1所述的氣體供給裝置，其特征在于，還包括變頻器，所述變頻器連接在所述控制設備和所述螺桿式空氣壓縮機之間；或者，所述變頻器連接在所述控制設備和所述活塞式空氣壓縮機之間。

4.如權利要求1所述的氣體供給裝置，其特征在于，還包括干燥系統，所述干燥系統設置在所述出氣通道上，且與所述控制設備連接。

5.如權利要求4所述的氣體供給裝置，其特征在于，還包括壓力變送器，所述壓力變送器位于所述緩壓儲氣罐和所述干燥系統之間，且與所述控制設備連接。

6.如權利要求4所述的氣體供給裝置，其特征在于，還包括溫濕度變送器，所述溫濕度變送器一端與所述干燥系統連接，另一端與所述控制設備連接。

7.如權利要求6所述的氣體供給裝置，其特征在于，還包括壓力傳感器，所述壓力傳感器連接在溫濕度變送器與所述控制設備之間。

8.如權利要求4所述的氣體供給裝置，其特征在于，還包括壓力傳感器，所述壓力傳感器一端與所述干燥系統連接，另一端與所述控制設備連接。