[實用新型]小包裝高純電子級化學品灌裝機構有效
| 申請號： | 201922131577.7 | 申請日： | 2019-12-03 |
| 公開（公告）號： | CN211393824U | 公開（公告）日： | 2020-09-01 |
| 發明（設計）人： | 王潤杰;盧洪慶;陳浩 | 申請（專利權）人： | 蘇州博洋化學股份有限公司 |
| 主分類號： | B67C3/26 | 分類號： | B67C3/26;B67C3/22 |
| 代理公司： | 北京科億知識產權代理事務所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 湯東鳳 |
| 地址： | 215000 江蘇省蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 包裝 高純 電子 化學品 灌裝 機構 | ||
【權利要求書】：
1.一種小包裝高純電子級化學品灌裝機構，其特征在于：包括儲罐、連接到儲罐頂部的高壓氮氣供應設備、插入儲罐內部的插底管以及連接插底管位于儲罐外端的出料管，所述出料管的末端連接灌裝機，所述出料管上設有調節閥。
2.根據權利要求1所述的小包裝高純電子級化學品灌裝機構，其特征在于：所述出料管上設有過濾裝置，所述過濾裝置位于所述調節閥的下游。
3.根據權利要求2所述的小包裝高純電子級化學品灌裝機構，其特征在于：所述過濾裝置包括串聯的兩個過濾器，下游過濾器的過濾孔徑小于上游過濾器的過濾孔徑。
4.根據權利要求1所述的小包裝高純電子級化學品灌裝機構，其特征在于：所述出料管與所述插底管通過三通管連接，所述三通管的上口連接排空管，所述排空管上設有排空閥。
5.根據權利要求1所述的小包裝高純電子級化學品灌裝機構，其特征在于：所述高壓氮氣供應設備與所述儲罐的連接管上設有穩壓閥。
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