[實用新型]MEMS麥克風

有效

• 申請號: 201922131501.4
• 申請日: 2019-12-02
• 公開（公告）號: CN211184240U
• 公開（公告）日: 2020-08-04
• 發明（設計）人: 聞永祥;孫福河;劉琛;周燕春
• 申請（專利權）人: 杭州士蘭集成電路有限公司;杭州士蘭微電子股份有限公司
• 主分類號: H04R19/00
• 分類號: H04R19/00;H04R19/04
• 代理公司: 北京成創同維知識產權代理有限公司 11449
• 代理人: 蔡純;張靖琳

1.一種MEMS麥克風，其特征在于，包括：

在襯底上依次形成的第一隔離層、膜片和第二隔離層；

在所述第二隔離層上依次形成的第一保護層、第二保護層、背極板、第三保護層和第四保護層；

貫穿所述第一保護層、所述第二保護層、所述背極板、所述第三保護層和所述第四保護層的釋放孔；

貫穿所述第二隔離層的空腔，所述空腔與所述釋放孔連通；以及

貫穿所述襯底和所述第一隔離層的聲腔，

其中，所述第一隔離層和所述第二隔離層夾持所述膜片的周邊部分。

2.根據權利要求1所述的MEMS麥克風，其特征在于，還包括：至少覆蓋在所述膜片的暴露表面上的單分子層有機膜。

3.根據權利要求1所述的MEMS麥克風，其特征在于，在所述膜片的振動期間，所述聲腔和所述釋放孔作為氣流通道。

4.根據權利要求2所述的MEMS麥克風，其特征在于，還包括金屬氧化物膜、氧化硅膜中的至少一層附加膜，所述附加膜與所述單分子層有機膜形成疊層結構。

5.根據權利要求2所述的MEMS麥克風，其特征在于，所述單分子層有機膜覆蓋所述MEMS麥克風的外部表面以及與外部環境連通的內部表面。

6.根據權利要求5所述的MEMS麥克風，其特征在于，所述單分子層有機膜覆蓋所述第一保護層在所述空腔中的暴露表面。

7.根據權利要求1所述的MEMS麥克風，其特征在于，所述膜片和所述背極板分別由摻雜的多晶硅組成。

8.根據權利要求1所述的MEMS麥克風，其特征在于，所述第一保護層至所述第四保護層中的每一個由選自氮化硅層、氮化硼層、碳化硅層中的任一種組成。

9.根據權利要求1所述的MEMS麥克風，其特征在于，所述第一保護層與所述第二保護層的組成材料不同。

10.根據權利要求1所述的MEMS麥克風，其特征在于，所述第三保護層和所述第四保護層的組成材料不同。

11.根據權利要求1所述的MEMS麥克風，其特征在于，所述第一隔離層的表面上包括環形凹槽。

12.據權利要求11所述的MEMS麥克風，其特征在于，所述膜片共形地覆蓋在所述第一隔離層的表面上并在所述凹槽的位置處形成同心環形彈簧結構。

13.據權利要求12所述的MEMS麥克風，其特征在于，所述同心環形的彈簧結構包括嵌套的1至6個圓環形。

14.根據權利要求1所述的MEMS麥克風，其特征在于，還包括：

第一導電通道，穿過所述第四保護層、所述第三保護層、所述第二保護層、所述第一保護層、以及所述第二隔離層到達所述膜片表面；以及

第二導電通道，穿過所述第四保護層、以及所述第三保護層到達所述背極板表面。

15.根據權利要求1所述的MEMS麥克風，其特征在于，所述第一保護層面對所述膜片的表面上形成多個突起物，以防止所述背極板與所述膜片之間的粘連。

16.根據權利要求1所述的MEMS麥克風，其特征在于，所述第一保護層的厚度為20納米至50納米，所述第二保護層的厚度為80納米至120納米。

17.根據權利要求1所述的MEMS麥克風，其特征在于，所述背極板的厚度為0.3微米～1.0微米。