[實(shí)用新型]一種響應(yīng)升降臺

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201922129613.6
• 申請日: 2019-12-02
• 公開（公告）號: CN211569990U
• 公開（公告）日: 2020-09-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 許云飛
• 申請（專利權(quán)）人: 無錫地心科技有限公司
• 主分類號: B66F7/10
• 分類號: B66F7/10;B66F7/28
• 代理公司: 北京智客聯(lián)合知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 11700
• 代理人: 楊群

本實(shí)用新型公開了一種響應(yīng)升降臺，所述升降臺包括升降塊，所述升降塊下方嵌設(shè)有楔形塊，所述楔形塊下方安裝有直線電機(jī)；所述升降塊的下側(cè)面為斜面，所述斜面與所述楔形塊的傾斜角度相同；所述升降塊的兩側(cè)邊分別延伸設(shè)有擋板；所述底板上固定有支架，所述支架通過第一安裝板安裝有柔性限位裝置，所述柔性限位裝置的另一端通過第二安裝板安裝在所述擋板外側(cè)面；所述底板上還固定有外殼，所述外殼上端處設(shè)有向內(nèi)的折邊，所述折邊圍繞所述升降塊上端設(shè)置。本實(shí)用新型利用楔形塊實(shí)現(xiàn)工作臺的升降，提高工作臺的承載力，降低加工成本，運(yùn)行噪音較小。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體加工技術(shù)領(lǐng)域，具體是一種響應(yīng)升降臺。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體加工技術(shù)領(lǐng)域，需要用到高精度定位要求的精密測量儀器、精密裝配機(jī)等，并且還需要在上述的設(shè)備上安裝定位工作臺，以滿足X方向或者Y方向或者Z方向的定位，其中Z方向上的定位一般是使用絲杠開實(shí)現(xiàn)升降定位，但是絲杠升降定位存在著承載力低、加工成本高、運(yùn)行噪音大等缺點(diǎn)，因此不能廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體加工行業(yè)。

實(shí)用新型內(nèi)容

為解決上述現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，本實(shí)用新型提供一種一種響應(yīng)升降臺，本實(shí)用新型利用楔形塊實(shí)現(xiàn)工作臺的升降，提高工作臺的承載力，降低加工成本，運(yùn)行噪音較小。

為實(shí)現(xiàn)上述技術(shù)目的，本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案：一種響應(yīng)升降臺，所述升降臺包括升降塊，所述升降塊下方嵌設(shè)有楔形塊，所述楔形塊下方安裝有直線電機(jī)；

所述升降塊的下側(cè)面為斜面，所述斜面與所述楔形塊的傾斜角度相同；所述升降塊的兩側(cè)邊分別延伸設(shè)有擋板；

所述楔形塊上側(cè)面兩端分別開有上滑槽，所述上滑槽內(nèi)安裝有上導(dǎo)軌，所述上導(dǎo)軌與所述升降塊連接，所述上導(dǎo)軌的傾斜角度與所述斜面的傾斜角度相同；所述楔形塊的兩側(cè)邊分別延伸設(shè)有滑塊，所述滑塊的上側(cè)面傾斜且傾斜角度與所述斜面的傾斜角度相同，所述滑塊的下側(cè)面兩端分別開有下滑槽，所述下滑槽內(nèi)安裝有下導(dǎo)軌，所述下導(dǎo)軌水平設(shè)置，所述下導(dǎo)軌固定在底板上；所述楔形塊的下方開有凹槽，所述凹槽內(nèi)安裝所述直線電機(jī)，所述直線電機(jī)水平設(shè)置；

所述底板上固定有支架，所述支架通過第一安裝板安裝有柔性限位裝置，所述柔性限位裝置的另一端通過第二安裝板安裝在所述擋板外側(cè)面；

所述底板上還固定有外殼，所述外殼上端處設(shè)有向內(nèi)的折邊，所述折邊圍繞所述升降塊上端設(shè)置。

進(jìn)一步地，所述擋板位于所述楔形塊的外側(cè)；所述擋板位于所述滑塊的上方。

進(jìn)一步地，所述上導(dǎo)軌采用交叉滾柱導(dǎo)軌。

進(jìn)一步地，所述下導(dǎo)軌采用交叉滾柱導(dǎo)軌。

進(jìn)一步地，所述凹槽側(cè)壁上還固定有光柵尺，所述光柵尺匹配有讀數(shù)頭，所述讀數(shù)頭固定在所述底板上。

進(jìn)一步地，所述外殼上安裝有線纜接頭。

進(jìn)一步地，所述底板的長度大于所述楔形塊的長度。

進(jìn)一步地，所述柔性限位裝置采用鋼帶。

綜上所述，本實(shí)用新型取得了以下技術(shù)效果：

1、本實(shí)用新型設(shè)置楔形塊與升降塊，并且升降塊下側(cè)面設(shè)置成斜面，利用楔形塊的傾斜平面將其自身的水平運(yùn)動轉(zhuǎn)換成升降塊的上下運(yùn)動，將水平面的運(yùn)動方向轉(zhuǎn)成Z方向的定位，實(shí)現(xiàn)升降臺的運(yùn)動和定位；

2、本實(shí)用新型設(shè)置上導(dǎo)軌以及下導(dǎo)軌，楔形塊利用下導(dǎo)軌實(shí)現(xiàn)水平直線運(yùn)動，升降塊利用上導(dǎo)軌和楔形塊實(shí)現(xiàn)上下運(yùn)動，保證運(yùn)動的穩(wěn)定性以及直線性；

3、本實(shí)用新型設(shè)置鋼帶，利用鋼帶本身只有一個(gè)方向的延展性，保證升降塊只做上下運(yùn)動，不會左右或者傾斜運(yùn)動。

附圖說明

圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例提供的升降臺示意圖；