[實用新型]一種同心測角擺臺

有效

• 申請號: 201922129100.5
• 申請日: 2019-12-02
• 公開（公告）號: CN210952733U
• 公開（公告）日: 2020-07-07
• 發明（設計）人: 許云飛;薛鵬飛
• 申請（專利權）人: 無錫地心科技有限公司
• 主分類號: G01B11/26
• 分類號: G01B11/26;G01B11/00
• 代理公司: 北京智客聯合知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 11700
• 代理人: 楊群

本實用新型公開了一種同心測角擺臺，所述擺臺包括上擺動塊、上座、下擺動塊、下座，所述上擺動塊沿著所述上座在X方向擺動，所述上座固定在所述下擺動塊上，所述下擺動塊沿著所述下座在Y方向上擺動，所述上擺動塊與所述下擺動塊同心擺動。本實用新型利用上弧形直線電機、下弧形直線電機的直驅作用，代替現有技術中的蝸輪蝸桿，保證運動的精度和準確度，也保證運動的可控性，本實用新型結構緊湊，增大了承載力，保證了擺動的同心度。

技術領域

本實用新型涉及半導體加工技術領域，具體是一種同心測角擺臺。

背景技術

在半導體加工技術領域中，一般會用到定位裝置來輔助加工，擺臺是其中一種定位裝置，現有擺臺利用渦輪蝸桿，存在著承載力小，體積大、定位精度和分辨率低的缺點。

實用新型內容

為解決上述現有技術的缺陷，本實用新型提供一種同心測角擺臺，本實用新型利用上弧形直線電機、下弧形直線電機的直驅作用，代替現有技術中的蝸輪蝸桿，保證運動的精度和準確度，也保證運動的可控性，本實用新型結構緊湊，增大了承載力，保證了擺動的同心度。

為實現上述技術目的，本實用新型采用如下技術方案：一種同心測角擺臺，所述擺臺包括上擺動塊、上座、下擺動塊、下座，所述上擺動塊沿著所述上座在X方向擺動，所述上座固定在所述下擺動塊上，所述下擺動塊沿著所述下座在Y方向上擺動，所述上擺動塊與所述下擺動塊同心擺動；

所述上擺動塊包括基板，所述基板下側面為第三弧形面，所述第三弧形面上開有凹槽，所述凹槽內開有固定槽；所述基板的其中一端設有第一滑塊，所述第一滑塊的下側面為第一弧形面，所述第一弧形面的外側設有第一擋板，所述第一擋板的下側面為弧形面；所述基板的另一端設有第二滑塊，所述第二滑塊上設有第四弧形面，所述第四弧形面的一側設有第二擋板，所述第二擋板底面為弧形面；

所述上座包括底板，所述底板上設有圍板，所述圍板內開有上槽，所述上槽內固定有上弧形直線電機的定子，所述上弧形直線電機的動子固定在所述固定槽內，所述上弧形直線電機沿X方向設置；所述圍板嵌入在所述凹槽內；所述底板上側面兩端分別設有第五弧形面，所述第五弧形面在X方向上延伸，兩個所述第五弧形面分別與所述第一擋板下側面、所述第二擋板下側面相對應設置；所述底板與所述第一弧形面之間、所述底板與所述第四弧形面之間均安裝有上弧形導軌，所述上弧形導軌沿X方向設置；

所述下擺動塊與所述下座之間安裝有下弧形導軌，所述下弧形導軌沿Y方向設置；所述下擺動塊內安裝有下弧形直線電機，所述下弧形直線電機沿Y方向設置，所述下擺動塊在所述下弧形直線電機的作用下沿著所述下弧形導軌擺動。

進一步地，所述下擺動塊的結構與所述上擺動塊的結構相同，所述下座與所述上座的結構相同；所述上擺動塊沿著X方向擺動，所述下擺動塊沿著Y方向擺動。

進一步地，所述下擺動塊的尺寸大于所述上擺動塊的尺寸；所述下座的尺寸大于所述上座的尺寸。

進一步地，所述上擺動塊與所述上座之間安裝有上光柵尺以及與所述上光柵尺匹配的上讀數頭。

進一步地，所述下擺動塊與所述下座之間安裝有下光柵尺以及與所述下光柵尺匹配的下讀數頭。

進一步地，所述上擺動塊、所述下擺動塊的擺動角度為±10°。

進一步地，所述第一弧形面、所述第三弧形面、所述第四弧形面、所述第一擋板的下側面、所述第二擋板110底面的弧形角度相同；所述上弧形導軌的弧形角度與所述第三弧形面的弧形角度相同。

綜上所述，本實用新型取得了以下技術效果：

1、本實用新型上擺動塊的上側面作為工作平臺，能夠在上弧形直線電機、下弧形直線電機的帶動下沿著X、Y方向擺動，并且，上擺動塊與下擺動塊同心擺動，保證工作平臺的穩定；