[實用新型]MEMS麥克風

有效

• 申請號: 201922128023.1
• 申請日: 2019-12-02
• 公開（公告）號: CN211184243U
• 公開（公告）日: 2020-08-04
• 發明（設計）人: 周延青;潘華兵;鄭泉智;胡鐵剛
• 申請（專利權）人: 杭州士蘭微電子股份有限公司
• 主分類號: H04R19/04
• 分類號: H04R19/04;H04R31/00
• 代理公司: 北京成創同維知識產權代理有限公司 11449
• 代理人: 蔡純;馮麗欣

1.一種MEMS麥克風，其特征在于，包括：

襯底；

位于所述襯底第一表面上的膜片和背極板電極，所述膜片與所述背極板電極彼此隔開，所述膜片的第一表面與所述背極板電極的第一表面彼此相對；以及

貫穿所述襯底到達所述膜片的第二表面的聲腔，

其中，所述膜片的周邊部分的部分區域為不連續區域。

2.根據權利要求1所述的MEMS麥克風，其特征在于，所述膜片的周邊部分的邊緣不連續。

3.根據權利要求2所述的MEMS麥克風，其特征在于，所述周邊部分的邊緣為鋸齒狀，所述鋸齒狀的多個缺口形成所述不連續區域。

4.根據權利要求1所述的MEMS麥克風，其特征在于，所述周邊部分的不連續區域包括鏤空結構，所述鏤空結構包括多個通孔。

5.根據權利要求4所述的MEMS麥克風，其特征在于，所述通孔形狀包括圓形、梯形或者多邊形。

6.根據權利要求4所述的MEMS麥克風，其特征在于，所述膜片周邊部分的邊緣由多個圓弧邊連接。

7.根據權利要求1所述的MEMS麥克風，其特征在于，所述膜片還包括：中間部分、以及連接所述中間部分和所述周邊部分的彈簧結構。

8.根據權利要求1所述的MEMS麥克風，其特征在于，還包括：

位于所述膜片和所述襯底之間的第一隔離層，所述聲腔貫穿所述第一隔離層；以及

位于所述背極板電極和所述膜片之間的第二隔離層，

其中，所述膜片的周邊部分的至少部分區域被夾持在所述第一隔離層和所述第二隔離層之間。

9.根據權利要求8所述的MEMS麥克風，其特征在于，還包括：

第一保護層和第二保護層，所述背極板電極位于所述第一保護層和所述第二保護層之間，所述第一保護層位于所述第二隔離層與所述背極板電極之間。

10.根據權利要求9所述的MEMS麥克風，其特征在于，還包括：

多個釋放孔，所述多個釋放孔貫穿所述第一保護層、所述背極板電極和所述第二保護層；以及

空腔，位于所述第二隔離層中，所述空腔與所述釋放孔連通，并且所述空腔暴露所述膜片的第一表面。

11.根據權利要求10所述的MEMS麥克風，其特征在于，所述多個釋放孔排列成矩形陣列或者錯開的矩形陣列或者圓形陣列。

12.根據權利要求9所述的MEMS麥克風，其特征在于，還包括：

第一引線，穿過所述第二保護層、所述第一保護層、以及所述第二隔離層到達所述膜片的第一表面；以及

第二引線，穿過所述第二保護層到達所述背極板電極的第二表面。