[實(shí)用新型]一種大口徑平面干涉儀載物臺(tái)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201922126768.4
• 申請(qǐng)日: 2019-12-02
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN210833460U
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-06-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王嬌
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 長(zhǎng)春百納光電子產(chǎn)品有限公司
• 主分類號(hào): G01B11/30
• 分類號(hào): G01B11/30
• 代理公司: 北京輕創(chuàng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11212
• 代理人: 王歡

本實(shí)用新型公開(kāi)了一種大口徑平面干涉儀載物臺(tái)，涉及平面干涉儀設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，包括支架底板、俯仰臺(tái)、固定支腳、可調(diào)節(jié)支腳、檢測(cè)組件；俯仰臺(tái)設(shè)置在支架底板上，固定支腳包括第一固定支腳以及第二固定支腳，第一固定支腳和第二固定支腳設(shè)在支架底板與俯仰臺(tái)之間，第一固定支腳和第二固定支腳前后間隔地設(shè)置在俯仰臺(tái)的底面上并位于俯仰臺(tái)的左側(cè)；可調(diào)節(jié)支腳設(shè)置在支架底板與支架底板與俯仰臺(tái)之間，可調(diào)節(jié)支腳設(shè)在俯仰臺(tái)的底面上并位于俯仰臺(tái)的右側(cè)，第一固定支腳、第二固定支腳與可調(diào)節(jié)支腳的中心點(diǎn)連線構(gòu)成等腰三角形；檢測(cè)組件包括標(biāo)準(zhǔn)尺、匹配尺，匹配尺垂直于俯仰臺(tái)。采用本實(shí)用新型，可以精密地調(diào)節(jié)載物臺(tái)的俯仰角度。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及平面干涉儀設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種大口徑平面干涉儀載物臺(tái)。

背景技術(shù)

利用大口平面干涉儀測(cè)量平面元件的平面度時(shí)，需要將被測(cè)元件豎起來(lái)，并且需要調(diào)整被測(cè)元件與干涉儀標(biāo)準(zhǔn)鏡之間的角度，使得他們之間的夾角接近0度，也就是使它們接近絕對(duì)平行，要使得調(diào)整精度如此之高就需要高精密的載物臺(tái)，目前，無(wú)法實(shí)現(xiàn)簡(jiǎn)便、精密地調(diào)節(jié)載物臺(tái)的俯仰角度。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型通過(guò)調(diào)整標(biāo)準(zhǔn)尺與匹配尺的相對(duì)位置，確定匹配尺呈豎直狀態(tài)，進(jìn)而確定與匹配尺垂直的俯仰臺(tái)呈水平狀態(tài)，解決了現(xiàn)有技術(shù)無(wú)法簡(jiǎn)便、精密調(diào)節(jié)俯仰臺(tái)俯仰角度的問(wèn)題。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型實(shí)施例提供了一種大口徑平面干涉儀載物臺(tái)，所述大口徑平面干涉儀載物臺(tái)包括支架底板、俯仰臺(tái)、固定支腳、可調(diào)節(jié)支腳、檢測(cè)組件；

所述俯仰臺(tái)設(shè)置在所述支架底板上，所述固定支腳包括第一固定支腳以及第二固定支腳，所述第一固定支腳和所述第二固定支腳設(shè)在所述支架底板與所述俯仰臺(tái)之間，所述第一固定支腳和所述第二固定支腳前后間隔地設(shè)置在所述俯仰臺(tái)的底面上并位于所述俯仰臺(tái)的左側(cè)；

所述可調(diào)節(jié)支腳設(shè)置在所述支架底板與所述支架底板與所述俯仰臺(tái)之間，所述可調(diào)節(jié)支腳設(shè)在所述俯仰臺(tái)的底面上并位于所述俯仰臺(tái)的右側(cè)，所述第一固定支腳、所述第二固定支腳與所述可調(diào)節(jié)支腳的中心點(diǎn)連線構(gòu)成等腰三角形；

所述檢測(cè)組件包括標(biāo)準(zhǔn)尺、匹配尺，所述匹配尺固定在所述俯仰臺(tái)的下側(cè)，且所述匹配尺垂直于所述俯仰臺(tái)，所述標(biāo)準(zhǔn)尺的一端鉸接在所述俯仰臺(tái)的下側(cè)，所述標(biāo)準(zhǔn)尺的另一端為自由端。

可選地，所述標(biāo)準(zhǔn)尺的寬度大于所述匹配尺的寬度，所述標(biāo)準(zhǔn)尺上設(shè)置有刻度。

可選地，還包括調(diào)整臺(tái)，所述調(diào)整臺(tái)設(shè)置于所述俯仰臺(tái)的上面，所述調(diào)整臺(tái)相對(duì)于所述俯仰臺(tái)可轉(zhuǎn)動(dòng)調(diào)整角度。

可選地，還包括角度調(diào)整組件，所述角度調(diào)整組件設(shè)置在調(diào)整臺(tái)與所述俯仰臺(tái)之間，所述角度調(diào)整組件的角度調(diào)整軸線沿左右延伸且分別與所述俯仰臺(tái)和所述調(diào)整臺(tái)相連，使得所述調(diào)整臺(tái)相對(duì)于所述俯仰臺(tái)可轉(zhuǎn)動(dòng)調(diào)整角度。

本實(shí)用新型實(shí)施例提供的技術(shù)方案帶來(lái)的有益效果至少包括：

本實(shí)用新型實(shí)施例中，將標(biāo)準(zhǔn)尺的自由端自由方式，使得標(biāo)準(zhǔn)尺可以在左右方向上自由轉(zhuǎn)動(dòng)，對(duì)比標(biāo)準(zhǔn)尺與匹配尺的位置，調(diào)整可調(diào)節(jié)支腳的高度，使得匹配尺豎直方向上的中心線與標(biāo)準(zhǔn)尺豎直方向上的中心線重合，確定匹配尺呈豎直方向，這樣，與匹配尺垂直的俯仰臺(tái)即為水平方向。這樣，可以將俯仰臺(tái)調(diào)整為水平狀態(tài)，由此可以測(cè)量平面元件的平面度。通過(guò)本實(shí)用新型，可以簡(jiǎn)單便捷且高效地調(diào)整俯仰臺(tái)的平面度。

附圖說(shuō)明

為了更清楚地說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種大口徑平面干涉儀載物臺(tái)的結(jié)構(gòu)示意圖；