[實用新型]一種離子注入濃度調節裝置有效
| 申請號： | 201922120883.0 | 申請日： | 2019-11-29 |
| 公開（公告）號： | CN210575821U | 公開（公告）日： | 2020-05-19 |
| 發明（設計）人： | 李真宇;韓智勇;羅具廷;張秀全;薛海蛟 | 申請（專利權）人： | 濟南晶正電子科技有限公司 |
| 主分類號： | H01J37/317 | 分類號： | H01J37/317;H01J37/30 |
| 代理公司： | 北京弘權知識產權代理事務所(普通合伙) 11363 | 代理人： | 逯長明;許偉群 |
| 地址： | 250100 山東省濟南市高新區港*** | 國省代碼： | 山東;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 離子 注入 濃度 調節 裝置 | ||
1.一種離子注入濃度調節裝置，設置于離子注入機的離子通道(8)內，所述離子通道(8)的一端設有離子束掃描模塊(1)，另一端放置基片(3)，其特征在于，包括：
所述離子束掃描模塊(1)和所述基片(3)之間設有離子濃度調整裝置(2)；
所述離子濃度調整裝置(2)包括外框(21)和均勻分布于所述外框(21)內的扇葉(22)，圍繞各所述扇葉(22)的最外側設有外周圓框(6)；
所述扇葉(22)的寬度沿所述外框(21)的中心向邊緣處遞減，或者按照預設函數關系的變化而變化；
所述外框(21)通過轉軸(4)與固定桿(5)活動連接；
所述外框(21)的外表面設有齒輪(7)，電機(10)用于帶動所述齒輪(7)轉動；
所述外框(21)與所述扇葉(22)的外周圓框(6)通過空氣軸承或磁懸浮連接。
2.根據權利要求1所述的離子注入濃度調節裝置，其特征在于，所述外框(21)的中心位置設有離子孔(23)，所述扇葉(22)沿所述離子孔(23)均勻設置。
3.根據權利要求1所述的離子注入濃度調節裝置，其特征在于，所述扇葉(22)設為三角形扇葉或樹葉形扇葉。
4.根據權利要求1所述的離子注入濃度調節裝置，其特征在于，所述扇葉(22)的表面設置石墨層。
5.根據權利要求1所述的離子注入濃度調節裝置，其特征在于，所述扇葉(22)距離旋轉中心的長度大于或等于注入所述基片(3)的半徑。
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