[實用新型]一種半導體制造用收料裝置

有效

• 申請號: 201922116860.2
• 申請日: 2019-12-02
• 公開（公告）號: CN211385173U
• 公開（公告）日: 2020-09-01
• 發明（設計）人: 張志平
• 申請（專利權）人: 襄陽斯邁克電氣有限公司
• 主分類號: B02C4/02
• 分類號: B02C4/02;B02C4/28;B02C23/10;B02C23/18;B08B15/04
• 代理公司: 六安眾信知識產權代理事務所(普通合伙) 34123
• 代理人: 魯曉瑞

1.一種半導體制造用收料裝置，包括AGV小車(1)，其特征在于，所述AGV小車(1)的上側通過螺栓固定連接有回收箱(2)，所述回收箱(2)頂部固定連接有進料斗(8)，且進料斗(8)的另一端固定連接有位于回收箱(2)內的防護板(7)，所述防護板(7)的底部固定連接有導向板(13)，兩個所述導向板(13)的之間設置有研磨裝置，所述回收箱(2)的內底板固定連接有平行設置的格擋板(4)，所述格擋板(4)的頂部固定連接有彈簧(6)，且彈簧(6)的另一端固定連接有篩網(9)，所述篩網(9)的頂部固定連接有震動電機(11)，兩個所述格擋板(4)之間設置有第一收集箱(3)，所述格擋板(4)的兩側設置有第二收集箱(5)，所述第一收集箱(3)的一側設置有與防護板(7)固定連接的阻隔板(14)，所述阻隔板(14)的一側設置有吸附裝置。

2.根據權利要求1所述的一種半導體制造用收料裝置，其特征在于，所述研磨裝置包括與回收箱(2)固定連接的支撐箱(15)，其中所述支撐箱(15)內壁固定連接有伺服電機(18)，所述伺服電機(18)的輸出端通過聯軸器固定連接有回收箱(2)轉動連接的旋轉軸(10)，所述旋轉軸(10)的外壁固定固定套接有擠壓輥(12)。

3.根據權利要求1所述的一種半導體制造用收料裝置，其特征在于，所述吸附裝置包括與阻隔板(14)固定連接的氣泵(16)，所述氣泵(16)的輸入端固定連接有與阻隔板(14)固定連接的吸氣管(19)，所述氣泵的輸出端固定連接有排氣管(20)，所述排氣管(20)的另一端固定連接有與阻隔板(14)固定連接的過濾箱(23)，所述過濾箱(23)的頂部固定連接有排放管(17)，所述排放管(17)與研磨裝置固定連接。

4.根據權利要求2所述的一種半導體制造用收料裝置，其特征在于，所述支撐箱(15)靠近伺服電機(18)的一側設置有多個通孔，所述擠壓輥(12)的外壁設置有多個破碎齒。

5.根據權利要求3所述的一種半導體制造用收料裝置，其特征在于，所述過濾箱(23)的底部固定連接有分隔板(22)，所述分隔板(22)上設置有多個透氣孔，所述過濾箱(23)的一側通過鉸鏈轉動連接有更換門(21)。

6.根據權利要求1所述的一種半導體制造用收料裝置，其特征在于，所述篩網(9)上設置有多個卸料孔，所述回收箱(2)的一側通過鉸鏈轉動連接有卸料門。