[實用新型]一種基于毛細力的微器件操作裝置

有效

• 申請號: 201922108768.1
• 申請日: 2019-11-29
• 公開（公告）號: CN210575891U
• 公開（公告）日: 2020-05-19
• 發明（設計）人: 常博;王彬開;趙夢凡;周權
• 申請（專利權）人: 陜西科技大學
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683;H01L21/67
• 代理公司: 西安通大專利代理有限責任公司 61200
• 代理人: 范巍

1.一種基于毛細力的微器件操作裝置，其特征在于，包括減振臺(23)，液滴生成機構，移動操作機構，斜視圖機構，控制器以及計算機；

所述液滴生成機構包括微量推進泵(22)和注射針頭(13)，微量推進泵(22)上設置有第一注射器(21)及第二注射器(20)，使用時，第一注射器(21)及第二注射器(20)能夠與注射針頭(13)連接；

所述移動操作機構包括電動移動平臺和手動移動平臺，電動移動平臺為XYZ三維電動位移平臺，手動移動平臺包括XY二維手動移動平臺和XYZ三維手動移動平臺，上述三個移動平臺均通過其各自的Y軸移動臺固定在減振臺(23)上；

注射針頭(13)可拆卸固定在XYZ三維電動位移平臺上，在XY二維手動移動平臺上可拆卸固定有載物臺(14)；

在所述XYZ三維手動移動平臺上設有第一顯微鏡頭(6)，在第一顯微鏡頭(6)上可拆卸連接有第一工業相機(4)；

所述斜視圖機構，包括第二顯微鏡頭(12)及與其可拆卸相連的第二工業相機(8)，以及用于調整第二顯微鏡頭(12)和第二工業相機(8)的位置及角度的調節機構；

所述控制器與計算機電性相連，計算機能夠集成控制微量推進泵(22)、控制XYZ三維電動位移平臺、第一工業相機(4)及第二工業相機(8)作業。

2.根據權利要求1所述的基于毛細力的微器件操作裝置，其特征在于，所述第一顯微鏡頭(6)通過第一鏡頭夾持器(5)可拆卸固定在所述XYZ三維手動移動平臺上。

3.根據權利要求1所述的基于毛細力的微器件操作裝置，其特征在于，所述調節機構包括安裝在減振臺(23)上的連接塊(29)，連接塊(29)上設有支撐桿(9)，第二顯微鏡頭(12)通過第二鏡頭夾持器(10)連接在支撐桿(9)上。

4.根據權利要求1所述的基于毛細力的微器件操作裝置，其特征在于，所述注射針頭(13)設有若干個，所述第一注射器(21)及第二注射器(20)能夠通過不同直徑的塑料軟管(24)與若干個注射針頭(13)密封連接。

5.根據權利要求1所述的基于毛細力的微器件操作裝置，其特征在于，所述注射針頭(13)通過針頭夾持器(15)固定在XYZ電動位移平臺上。

6.根據權利要求1所述的基于毛細力的微器件操作裝置，其特征在于，所述微量推進泵(22)上還設置有手動操作面板，能夠利用手動輸入的方式對液體的輸送量與速度進行控制。

7.根據權利要求1～6中任意一項所述的基于毛細力的微器件操作裝置，其特征在于，所述控制器為四通道伺服控制器，XYZ三維電動位移平臺的三個馬達分別接至四通道伺服控制器的其中三個通道上。

8.根據權利要求1～6中任意一項所述的基于毛細力的微器件操作裝置，其特征在于，所述微量推進泵(22)、第一工業相機(4)及第二工業相機(8)均采用自帶電纜與所述計算機相連。