[實用新型]一種晶圓再生裝置

有效

• 申請號: 201922104583.3
• 申請日: 2019-11-29
• 公開（公告）號: CN211635399U
• 公開（公告）日: 2020-10-09
• 發明（設計）人: 辛長林;闞總峰;劉洪剛;趙峰
• 申請（專利權）人: 安徽高芯眾科半導體有限公司
• 主分類號: B01D29/03
• 分類號: B01D29/03;B01D29/56;B01F7/04;H01L21/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型公開了一種晶圓再生裝置，涉及半導體技術領域。本實用新型包括殼體，所述殼體內腔上部對稱設置有連接機構，連接機構扣接有晶圓籃，晶圓籃內設置有晶圓，殼體的內腔中部傾斜設置有過濾板一，殼體的內腔下部貫穿設置有轉軸，轉軸的外壁對稱設置有攪動板，攪動板上均勻設置有若干通孔，殼體的內腔下部設置有過濾板二，過濾板二的下方設置有凈液室，凈液室的一側設置有抽液管，抽液管的一端設置有抽液泵，抽液泵的頂端設置有出液管，出液管的端部設置有噴頭。本實用新型通過連接機構、轉軸、攪動板和通孔的配合作用，使得殼體內的液體發生流動，解決了反應過程中，晶圓表面的溶液濃度不斷降低，反應速率將逐漸下降的問題。

技術領域

本實用新型屬于半導體技術領域，具體來說，特別涉及一種晶圓再生裝置。

背景技術

晶圓再生是指將已加工過的晶圓片的薄膜、金屬及其它污染物除去，透過化學或化學機械處理，晶圓片會回復到原來的表面狀態。

一般晶圓再生反應過程中，將晶圓籃靜置在化學溶液內進行反應，但是在反應過程中，晶圓表面的溶液濃度不斷降低，反應速率將逐漸下降，從而嚴重影響晶圓再生的質量和速率。

針對相關技術中的問題，目前尚未提出有效的解決方案。

實用新型內容

針對相關技術中的問題，本實用新型提出一種晶圓再生裝置，以克服現有相關技術所存在的上述技術問題。

為解決上述技術問題，本實用新型是通過以下技術方案實現的：

本實用新型為一種晶圓再生裝置，包括殼體，所述殼體內腔上部對稱設置有連接機構，所述連接機構扣接有晶圓籃，所述晶圓籃內設置有晶圓，所述殼體的內腔中部傾斜設置有過濾板一，所述殼體的內腔下部且位于所述過濾板一的下方貫穿設置有轉軸，所述轉軸的外壁對稱設置有攪動板，所述攪動板上均勻設置有若干通孔，所述殼體的內腔下部且位于所述轉軸的下方設置有過濾板二，所述過濾板二的下方設置有凈液室，所述凈液室的一側設置有抽液管，所述抽液管貫穿所述殼體并延伸至其外側，所述抽液管位于所述殼體外側的一端設置有抽液泵，所述抽液泵的頂端設置有出液管，所述出液管貫穿所述殼體并延伸至其內部，所述出液管的端部設置有噴頭。

進一步地，所述連接機構包括有固定座，所述固定座與所述殼體的內壁固定連接，所述固定座遠離所述殼體的一側設置有彈簧，所述彈簧遠離所述固定座的一端固定連接有連接塊，所述連接塊遠離所述彈簧的一側設置有掛鉤，所述晶圓籃的兩側設置有與所述掛鉤相匹配的鉤孔。

進一步地，所述過濾板一、轉軸和過濾板二均傾斜設置，傾斜角度為30°—40°，所述過濾板一、轉軸和過濾板二相互平行，所述過濾板一上的孔徑大于所述過濾板二上的孔徑。

進一步地，所述殼體的頂端鉸接有蓋板，所述殼體的下部一側設置有固定板，所述固定板與所述抽液泵固定連接，所述殼體的下部一側設置有排液口，所述殼體位于所述過濾板一和過濾板二的傾斜底端均設置有門板，所述殼體的底端設置有墊腳，所述殼體的中部一側設置有觀察窗。

進一步地，所述轉軸與所述殼體的貫穿處設置有連接件，所述轉軸的端部設置有電機。

本實用新型具有以下有益效果：