[實用新型]一種槽式和鏈式相結合的黑硅制絨設備有效
| 申請號: | 201922086163.7 | 申請日: | 2019-11-28 |
| 公開(公告)號: | CN210926048U | 公開(公告)日: | 2020-07-03 |
| 發明(設計)人: | 侯成成;管自生;陳早;萬鵬;印越 | 申請(專利權)人: | 南京納鑫新材料有限公司 |
| 主分類號: | H01L31/18 | 分類號: | H01L31/18 |
| 代理公司: | 北京挺立專利事務所(普通合伙) 11265 | 代理人: | 石磊 |
| 地址: | 211100 江蘇省*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 鏈式 相結合 黑硅制絨 設備 | ||
1.一種槽式和鏈式相結合的黑硅制絨設備,包括槽式機和鏈式機兩部分,其特征在于,所述槽式機包括上料一臺(1)、初拋槽(2)、漂洗一槽(3)、酸洗一槽(4)、漂洗二槽(5)、鍍銀一槽(6)、鍍銀二槽(7)、挖孔槽(8)、漂洗三槽(9)、脫銀一槽(10)、脫銀二槽(11)、漂洗四槽(12)、烘干一槽(13)及下料一臺(14)部分組成,所述上料一臺(1)、初拋槽(2)、漂洗一槽(3)、酸洗一槽(4)、漂洗二槽(5)、鍍銀一槽(6)、鍍銀二槽(7)、挖孔槽(8)、漂洗三槽(9)、脫銀一槽(10)、脫銀二槽(11)、漂洗四槽(12)、烘干一槽(13)及下料一臺(14)依次相互連接;
所述鏈式機包括上料二臺(15)、擴孔槽(16)、漂洗五槽(17)、堿洗槽(18)、漂洗六槽(19)、酸洗二槽(20)、漂洗七槽(21)、烘干二槽(22)及下料二臺(23)部分組成,所述上料二臺(15)、擴孔槽(16)、漂洗五槽(17)、堿洗槽(18)、漂洗六槽(19)、酸洗二槽(20)、漂洗七槽(21)、烘干二槽(22)及下料二臺(23)依次相互連接。
2.根據權利要求1所述的一種槽式和鏈式相結合的黑硅制絨設備,其特征在于,所述初拋槽(2)、鍍銀一槽(6)、鍍銀二槽(7)及挖孔槽(8)均含有添加劑自動補液系統,采用磁致伸縮液位計的計量方式,且控制精度≤1ml。
3.根據權利要求1所述的一種槽式和鏈式相結合的黑硅制絨設備,其特征在于,所述鍍銀一槽(6)、鍍銀二槽(7)和挖孔槽(8)均配有熱交換器和冰水機,且溫度控制范圍為10~50℃,控制精度0.5℃。
4.根據權利要求1所述的一種槽式和鏈式相結合的黑硅制絨設備,其特征在于,初拋槽(2)、酸洗一槽(4)、鍍銀一槽(6)、鍍銀二槽(7)、挖孔槽(8)、脫銀一槽(10)、脫銀二槽(11)均采用PVDF材質或者耐酸堿的PP材質制成。
5.根據權利要求1所述的一種槽式和鏈式相結合的黑硅制絨設備,其特征在于,所述擴孔槽(16)的內部配有熱交換器,且熱交換器溫度控制范圍5~15℃,控制精度為0.5℃。
6.根據權利要求1所述的一種槽式和鏈式相結合的黑硅制絨設備,其特征在于,所述初拋槽(2)的內部設有加熱裝置,且初拋槽(2)的底部和四周裝有溫度檢測探頭。
7.根據權利要求1所述的一種槽式和鏈式相結合的黑硅制絨設備,其特征在于,所述初拋槽(2)、酸洗一槽(4)、鍍銀一槽(6)、鍍銀二槽(7)、挖孔槽(8)、脫銀一槽(10)、脫銀二槽(11)的內部均設有PH在線監測器。
8.根據權利要求1所述的一種槽式和鏈式相結合的黑硅制絨設備,其特征在于,所述槽式機的上端固定設有多組機械臂。
9.根據權利要求8所述的一種槽式和鏈式相結合的黑硅制絨設備,其特征在于,所述機械臂上設有壓藍和掉藍報警感應器。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射,或微粒輻射敏感的,并且專門適用于把這樣的輻射能轉換為電能的,或者專門適用于通過這樣的輻射進行電能控制的半導體器件;專門適用于制造或處理這些半導體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過該器件的電流的,例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個共用襯底內或其上形成的,一個或多個電光源,如場致發光光源在結構上相連的,并與其電光源在電氣上或光學上相耦合的





