[實用新型]顯影裝置

有效

• 申請號: 201922072829.3
• 申請日: 2019-11-27
• 公開（公告）號: CN210573195U
• 公開（公告）日: 2020-05-19
• 發明（設計）人: 張強;應戰
• 申請（專利權）人: 長鑫存儲技術有限公司
• 主分類號: G03F7/30
• 分類號: G03F7/30
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 黃麗

1.一種顯影裝置，其特征在于，所述顯影裝置包括：

晶圓載臺，用于承載待顯影的晶圓，并帶動所述晶圓轉動；

噴涂模塊，包括液體涂布單元和氣體吹掃單元，所述液體涂布單元用于在晶圓表面涂布液體，所述氣體吹掃單元用于去除晶圓表面的液體和固體；

第一旋轉電機，所述第一旋轉電機的旋轉軸與所述氣體吹掃單元固定連接，用于帶動所述氣體吹掃單元轉動，所述第一旋轉電機的轉動方向包括順時針方向和逆時針方向。

2.根據權利要求1所述的顯影裝置，其特征在于，所述氣體吹掃單元包括至少兩個氣體噴管，所述至少兩個氣體噴管形成一端固定另一端張開的爪形結構，所述氣體噴管的固定端與第一旋轉電機的旋轉軸固定連接。

3.根據權利要求2所述的顯影裝置，其特征在于，所述氣體噴管的中部設有伸縮件，用于調節所述氣體噴管的工作長度。

4.根據權利要求3所述的顯影裝置，其特征在于，所述氣體吹掃單元還包括噴管連接件，所述噴管連接件包括：

固定部，所述固定部的一端與所述第一旋轉電機的旋轉軸連接，另一端與所述氣體噴管的固定端連接；

旋轉臂，所述旋轉臂與氣體噴管一一對應，所述旋轉臂的一端與所述固定部連接，另一端與相應的所述氣體噴管活動連接。

5.根據權利要求4所述的顯影裝置，其特征在于，所述旋轉臂與氣體噴管連接的一端設有彈性固定環，所述氣體噴管穿過彈性固定環與所述旋轉臂活動連接。

6.根據權利要求4所述的顯影裝置，其特征在于，所述第一旋轉電機和固定部的內部設有氣體管路，用于連通所述氣體噴管和氣源。

7.根據權利要求4所述的顯影裝置，其特征在于，所述氣體吹掃單元還包括：

第二旋轉電機，所述第二旋轉電機與氣體噴管一一對應，所述第二旋轉電機的外殼與所述旋轉臂固定連接；

傳動件，與所述第二旋轉電機的旋轉軸固定連接，所述傳動件為圓柱形，所述傳動件的弧面與相應的氣體噴管貼合設置，用于控制所述氣體噴管的伸縮件延伸和收縮。

8.根據權利要求7所述的顯影裝置，其特征在于，所述傳動件的弧面上均勻設有多個第一齒狀凸起；所述氣體噴管靠近所述傳動件的表面上均勻設有多個第二齒狀凸起，所述第二齒狀凸起與第一齒狀凸起相互嚙合形成同步轉動。

9.根據權利要求2所述的顯影裝置，其特征在于，所述氣體吹掃單元還包括中心噴管，所述中心噴管垂直朝向所述晶圓載臺。

10.根據權利要求1所述的顯影裝置，其特征在于，所述液體涂布單元設有多個液體噴口，用于噴涂不同的液體。

11.根據權利要求1所述的顯影裝置，其特征在于，所述晶圓載臺包括第三旋轉電機，用于帶動所述晶圓轉動。