[實用新型]一種鋼瓶自動潔凈裝置

有效

• 申請號: 201922071699.1
• 申請日: 2019-11-27
• 公開（公告）號: CN210995673U
• 公開（公告）日: 2020-07-14
• 發明（設計）人: 潘云俊
• 申請（專利權）人: 江蘇中宏機械制造有限公司
• 主分類號: B08B9/08
• 分類號: B08B9/08
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

一種鋼瓶自動潔凈裝置，包含真空烘箱、真空機組、置換氣供應組件、放空閥、主管、系統控制柜；所述主管一端貫穿真空烘箱頂部，進入真空烘箱的內部，主管另一端與置換氣供應組件的輸出端連通；所述主管在與置換氣供應組件的連通處還設有控制連通狀態的充氣閥；所述真空機組的輸入端通過管道與主管連通，管道設有真空閥與電離規管；所述放空閥設置在主管上；所述系統控制柜上設有控制面板，通過控制面板向其內設有的PLC控制器發出工作指令，通過PLC控制器控制真空烘箱、真空機組、放空閥、充氣閥、真空閥、電離規管工作；所述主管在位于真空烘箱頂部外的部分還設有壓力傳感器。本實用新型，結構簡單使用方便。

技術領域

本實用新型涉及鋼瓶潔凈技術領域，特別是一種鋼瓶自動潔凈裝置。

背景技術

半導體工業用的氣體統稱電子氣體。按其門類可分為純氣，高純氣和半導體特殊材料氣體三大類。特殊材料氣體主要用于外延、摻雜和蝕刻工藝；高純氣體主要用作稀釋氣和運載氣。電子氣體是特種氣體的一個重要分支。電子氣體按純度等級和使用場合，可分為電子級，LSI(大規模集成電路)級，VLSI(超大規模集成電路)級和ULSI(特大規模集成電路)級。儲存電子氣體的鋼瓶也是影響電子氣體純度的重要因素之一，因此需要對鋼瓶內部進行除雜處理后才能對電子氣體進行儲存；鋼瓶內部進行除雜處理為鋼瓶去水分，氮氣置換，抽真空；現有的鋼瓶潔凈裝置使用不方便，浪費人力物力。

實用新型內容

針對上述缺陷，本實用新型的目的在于提供一種鋼瓶自動潔凈裝置，通過真空烘箱對鋼瓶加熱，后通過真空機組對鋼瓶進行抽真空，再通過置換氣供應組件向鋼瓶充入置換氣，后打開放空閥放空置換氣，即完成對鋼瓶的潔凈；通過PLC控制器控制自動化程度高，進一步提高生產效率。

本實用新型采用的技術方案是：一種鋼瓶自動潔凈裝置，包含真空烘箱、真空機組、置換氣供應組件、放空閥、主管、系統控制柜；所述主管一端貫穿真空烘箱頂部，進入真空烘箱的內部，主管另一端與置換氣供應組件的輸出端連通；所述主管在與置換氣供應組件的連通處還設有控制連通狀態的充氣閥；所述真空機組的輸入端通過管道與主管連通，管道設有真空閥與電離規管；所述放空閥設置在主管上；所述系統控制柜上設有控制面板，通過控制面板向其內設有的PLC控制器發出工作指令，通過PLC控制器控制真空烘箱、真空機組、放空閥、充氣閥、真空閥、電離規管工作；所述主管在位于真空烘箱頂部外的部分還設有壓力傳感器，通過壓力傳感器接收主管內的充氣壓力并反饋充氣壓力給PLC控制器。

所述主管位于真空烘箱內的端部連接有不銹鋼軟管，通過不銹鋼軟管方便與放置在真空烘箱內的鋼瓶集裝格上設有的與鋼瓶連通的連接管連接，進一步提高主管的使用壽命。

所述主管在位于真空烘箱頂部的部分還設有分管，分管端部貫穿真空烘箱的頂部進入真空烘箱內部，并在端部連接有不銹鋼軟管，通過分管使得真空烘箱內可以同時放置兩個鋼瓶集裝格，進一步提高工作效率。

所述主管在位于真空烘箱頂部外的部分還設有壓力表，通過壓力表實時提供主管內的壓力值，方便人工檢查。

所述置換氣供應組件包含氣源罐，氣源罐上設有出口；所述氣源罐內設有至少一個的氣瓶，氣瓶內設置置換氣，所述氣瓶上設有出氣口，并通過出氣口上設置有控制閥控制出氣狀態；氣瓶通過出氣口上連通的管道穿過出口與主管連通。

所述置換氣為氮氣或氬氣或其它惰性氣體。

所述氣源罐內設有三個氣瓶，給使用提供方便，避免置換氣時，氣體不充分，進一步提供工作效率。

所述真空機組底部設置有機座，通過機座防止真空機組上的各組件與地面長期直接接觸導致的腐蝕現象出現，進一步提高使用壽命。

所述放空閥、充氣閥、真空閥均為帶手動功能的電磁閥。