[實用新型]一種太陽能電池硅片薄膜制備熱絲沉積設備

有效

• 申請號: 201922068458.1
• 申請日: 2019-11-26
• 公開（公告）號: CN211142164U
• 公開（公告）日: 2020-07-31
• 發明（設計）人: 李忠涌;王嵐;陳坤;蘇榮;眭山
• 申請（專利權）人: 通威太陽能(眉山)有限公司
• 主分類號: C23C16/24
• 分類號: C23C16/24;C23C16/44;C23C16/455
• 代理公司: 成都弘毅天承知識產權代理有限公司 51230
• 代理人: 鄧蕓

1.一種太陽能電池硅片薄膜制備熱絲沉積設備，包括反應室(1)，反應室(1)內設置有豎直布置的熱絲(2)和托板(3)，托板(3)用于固定電池硅片(4)，其特征在于，反應室(1)一側端設置有正對托板(3)的進氣口(5)，反應室(1)另一側端設置有排氣口(6)。

2.根據權利要求1所述的一種太陽能電池硅片薄膜制備熱絲沉積設備，其特征在于，托板(3)設置有兩個，熱絲(2)位于兩托板(3)之間，且熱絲(2)與兩托板(3)之間具有間隔空隙。

3.根據權利要求2所述的一種太陽能電池硅片薄膜制備熱絲沉積設備，其特征在于，托板(3)側壁設置有用于限制硅片產生位移的扣槽(7)，扣槽(7)對稱設于電池硅片(4)的兩條對邊邊緣。

4.根據權利要求1所述的一種太陽能電池硅片薄膜制備熱絲沉積設備，其特征在于，進氣口(5)連接有位于反應室(1)內的勻氣板(8)，勻氣板(8)正對托板(3)，勻氣板(8)用于將氣體均勻排出。

5.根據權利要求4所述的一種太陽能電池硅片薄膜制備熱絲沉積設備，其特征在于，勻氣板(8)內設有勻氣腔(9)，勻氣板(8)靠近托板(3)的一側端設置有若干個連通反應室(1)與勻氣腔(9)的出氣孔(10)。