[實(shí)用新型]一種內(nèi)互聯(lián)七電極低失調(diào)垂直霍爾磁傳感器

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201922064125.1
• 申請(qǐng)日: 2019-11-26
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN212433374U
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-01-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 呂飛;張金;劉飛
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 金陵科技學(xué)院
• 主分類號(hào): G01R33/07
• 分類號(hào): G01R33/07
• 代理公司: 江蘇圣典律師事務(wù)所 32237
• 代理人: 胡建華

1.一種內(nèi)互聯(lián)七電極低失調(diào)垂直霍爾磁傳感器，其特征在于，包括：

有源區(qū)；

電極：將有源區(qū)與外部電路相連；其中，所述電極為7個(gè)，分別為C1～C7，采用對(duì)稱式分布；

互聯(lián)線：采用M1和M2兩層金屬層實(shí)現(xiàn)芯片內(nèi)部互聯(lián)；其中，電極C2與C6通過(guò)金屬層M1互聯(lián)，并通過(guò)金屬層M1管腳PAD0接地；電極C1與C5通過(guò)金屬層M1互聯(lián)，并通過(guò)金屬層M1管腳PAD1實(shí)現(xiàn)霍爾電壓輸出；

電極C4通過(guò)金屬層M2管腳PAD3實(shí)現(xiàn)偏置電流輸入；電極C3與C7通過(guò)金屬層M2互聯(lián)，并通過(guò)金屬層M2管腳PAD2實(shí)現(xiàn)霍爾電壓輸出。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的內(nèi)互聯(lián)七電極低失調(diào)垂直霍爾磁傳感器，其特征在于，所述有源區(qū)采用窄條設(shè)計(jì)，長(zhǎng)度和寬度分為90μm和3μm。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的內(nèi)互聯(lián)七電極低失調(diào)垂直霍爾磁傳感器，其特征在于，所述電極的寬度為1μm。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或3所述的內(nèi)互聯(lián)七電極低失調(diào)垂直霍爾磁傳感器，其特征在于，電極C1和C2的距離為13μm，電極C2和C3的距離為11μm，電極C3和C4的距離為13μm，電極C4和C5的距離為13μm，電極C5和C6的距離為11μm，電極C6和C7的距離為13μm。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的內(nèi)互聯(lián)七電極低失調(diào)垂直霍爾磁傳感器，其特征在于，所述有源區(qū)采用摻雜濃度不高于E18 cm^-3，深度不小于1μm的N型摻雜區(qū)域。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的內(nèi)互聯(lián)七電極低失調(diào)垂直霍爾磁傳感器，其特征在于，所述金屬層M1和M2與電極之間采用通孔的方式連接。