[實用新型]一種鋁合金靶材的錐形環縫攪拌摩擦焊裝置

有效

• 申請號: 201922056727.2
• 申請日: 2019-11-25
• 公開（公告）號: CN211588901U
• 公開（公告）日: 2020-09-29
• 發明（設計）人: 劉偉;鄧廖林;高祎晗;李小林
• 申請（專利權）人: 昆山萬洲特種焊接有限公司
• 主分類號: B23K20/12
• 分類號: B23K20/12;B23K20/26
• 代理公司: 蘇州欣達共創專利代理事務所(普通合伙) 32405
• 代理人: 范玉敏

本實用新型涉及半導體領域，具體涉及一種鋁合金靶材的錐形環縫攪拌摩擦焊裝置，包括固定底座、后推裝置、前推裝置和驅動裝置，前推裝置的前側設置有能夠轉動且用于安裝錐型靶材的漲緊套，漲緊套的一端設有用于供錐型靶材安裝的法蘭盤，后推裝置包括尾座、下壓組件、移動支座和用于迫使移動支座平移的連桿機構，移動支座正對漲緊套的一側設有能夠抵觸漲緊套并隨漲緊套轉動的壓緊板，壓緊板與漲緊套共軸線設置，固定底座的底部與水平面之間呈角度設置，本實用新型能夠通過不同角度的底座使焊接裝置與水平面之間的角度更加多樣靈活，降低了錐型靶材的焊接難度，提高了錐型靶材的焊接質量。

技術領域

本實用新型涉及半導體領域，具體涉及一種鋁合金靶材的錐形環縫攪拌摩擦焊裝置。

背景技術

在所有應用產業中，半導體產業對靶材濺射薄膜的品質要求是最苛刻的，硅片制造商對靶材的要求是大尺寸、高純度、低偏析和細晶粒，這就要求所制造的靶材具有更好的微觀結構。靶材的結晶粒子直徑和均勻性已被認為是影響薄膜沉積率的關鍵因素。另外，薄膜的純度與靶材的純度關系極大，而未來的0.18um工藝甚至0.13μm工藝，所需要的靶材純度將要求達到5N甚至6N以上，現有純度的靶材難以滿足工藝需求，所以新的靶材需要將5N以上超純鋁靶材和常規6系鋁合金法蘭盤焊接起來。

先前焊接靶材多為柱形環焊縫，焊接面平行于水平面，所以焊接裝置多為水平的。而錐形靶材焊接面與水平面不平行，成一定角度，在靶材錐形焊縫的焊接領域尚未發現相關成果。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種鋁合金靶材的錐形環縫攪拌摩擦焊裝置。

為達此目的，本實用新型采用以下技術方案：

提供一種鋁合金靶材的錐形環縫攪拌摩擦焊裝置，包括固定底座、后推裝置、前推裝置和驅動裝置，后推裝置和前推裝置均固定設置于固定底座的頂部，前推裝置的前側設置有能夠轉動且用于安裝錐型靶材的漲緊套，漲緊套的一端設有用于供錐型靶材安裝的法蘭盤，驅動裝置設置于前推裝置的后側并與漲緊套傳動連接，后推裝置包括尾座、下壓組件、移動支座和用于迫使移動支座平移的連桿機構，移動支座的底部與固定底座固定連接，下壓組件固定設置與尾座頂部，移動支座位于尾座和前推裝置之間，連桿機構位于尾座和移動底座之間并且與二者連接，移動支座正對漲緊套的一側設有能夠抵觸漲緊套并隨漲緊套轉動的壓緊板，壓緊板與漲緊套共軸線設置，固定底座的底部與水平面之間呈角度設置。

作為一種鋁合金靶材的錐形環縫攪拌摩擦焊裝置的優選方案，前推裝置包括電機支座、抵緊氣缸和推出板，電機支座固定設置于固定底座的頂部，抵緊氣缸通過L型角座設置于電機支座內側，推出板位于漲緊套靠近壓緊板的一端內側，抵緊氣缸的輸出軸與推出板固定連接。

作為一種鋁合金靶材的錐形環縫攪拌摩擦焊裝置的優選方案，驅動裝置為兩個旋轉電機，兩個旋轉電機固定設置于電機支座的內側并且關于抵緊氣缸對稱，漲緊套與電機支座之間設有轉盤軸承，轉盤軸承的內圈與電機支座的側壁固定連接，轉盤軸承的外圈漲緊套的端部固定連接，并且轉盤軸承的外圈設有環齒，兩個旋轉電機的輸出軸自內而外穿過電機支座并且分別連接有主動齒輪，兩個主動齒輪均與環齒嚙合。

作為一種鋁合金靶材的錐形環縫攪拌摩擦焊裝置的優選方案，下壓組件為兩個設置于尾座頂部的下壓氣缸，尾座的側壁上設有兩個平行的第一滑軌，每個第一滑軌上均設有第一滑塊，連桿機構包括第一鉸接座、第二鉸接座和連桿，第一鉸接座的側壁與第一滑塊固定連接，下壓氣缸的輸出軸自上而下穿過尾座頂部并與下方對應的第一鉸接座連接，第二鉸接座固定設置于移動支座的靠近尾座的一側，連桿的兩端分別與第一鉸接座和第二鉸接座連接，移動支座的底部設有兩個第二滑塊，固定底座的頂部設有兩個與第二滑塊配合的第二滑軌。

作為一種鋁合金靶材的錐形環縫攪拌摩擦焊裝置的優選方案，移動支座與壓緊板之間設有滾珠軸承，滾珠軸承的內圈與移動支座的側壁固定連接，外圈與壓緊板固定連接。