[實用新型]滾筒式磁控濺射鍍膜機

有效

• 申請號: 201922036723.8
• 申請日: 2019-11-22
• 公開（公告）號: CN211689222U
• 公開（公告）日: 2020-10-16
• 發明（設計）人: 黃永生;田夢軍;董悅;薛濤
• 申請（專利權）人: 維達力實業（深圳）有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 秦冉冉

本實用新型涉及一種滾筒式磁控濺射鍍膜機，通過設置在滾筒座上的導電滾輪與濺射滾筒的外側壁面接觸導電的方式，對濺射內腔中的待鍍工件施加偏壓，導電滾輪可適應于濺射滾筒的轉動過程中的電傳導，磁控濺射工藝過程中的高溫真空環境不會對導電滾輪產生不利影響，且導電滾輪不會污染真空鍍膜環境。進一步地，導電滾輪起到導電作用的同時還起到支撐濺射滾筒的作用，承擔濺射滾筒及其中的待鍍工件的重量，驅動裝置僅需進行傳動而不承擔壓力，可減輕驅動裝置的負擔，達到濺射滾筒平穩轉動的效果。

技術領域

本實用新型涉及磁控濺射設備技術領域，特別是涉及一種滾筒式磁控濺射鍍膜機。

背景技術

相比電鍍、噴涂等工藝，磁控濺射真空鍍膜具有膜基結合力好、膜層光滑致密、沉積速率快、膜層元素和結構易于控制、工藝過程清潔環保等優點，是目前用于高檔裝飾性鍍膜的主流技術。

磁控濺射技術要求裝載待鍍物的轉架或立柱具有導電能力，即設備需具備可在待鍍物上施加偏壓的功能。現有磁控濺射技術中，轉架的導電裝置通常采用石墨電刷，石墨電刷與轉架相連即可對待鍍物施加偏壓。然而，鍍膜時的濺射物會在石墨電刷上沉積，加之工藝過程中的高溫真空環境，會降低石墨電刷的使用壽命。另外，石墨電刷上的石墨等粉塵若保護不當也會污染真空鍍膜環境，影響膜層質量。

實用新型內容

基于此，有必要提供一種滾筒式磁控濺射鍍膜機，以解決傳統導電裝置采用石墨電刷存在的高溫真空環境會降低石墨電刷使用壽命、石墨電刷上的石墨等粉塵可能污染真空鍍膜環境的問題。

一種滾筒式磁控濺射鍍膜機，包括濺射滾筒、滾筒座以及驅動裝置；所述濺射滾筒具有用于進行磁控濺射的濺射內腔，所述濺射滾筒設置在所述滾筒座上并與所述驅動裝置連接以由所述驅動裝置驅動轉動，所述滾筒座上設置有導電滾輪，所述導電滾輪的輪面抵接于所述濺射滾筒的外側壁上，所述導電滾輪的徑向與所述濺射滾筒的軸向垂直，所述導電滾輪用于傳輸電流至所述濺射滾筒上以對所述濺射內腔中的待鍍工件施加偏壓。

在其中一個實施例中，所述導電滾輪包括多個第一導電滾輪，所述濺射滾筒由多個所述第一導電滾輪共同支撐。

在其中一個實施例中，所述滾筒座包括支架以及設置在所述支架上的第一支撐軸和第二支撐軸，所述第一支撐軸和所述第二支撐軸相對設置，所述第一支撐軸和所述第二支撐軸均與所述濺射滾筒的軸向平行，所述第一支撐軸和所述第二支撐軸上均設置有多個所述第一導電滾輪。

在其中一個實施例中，所述濺射滾筒的外側壁設置有多條限位軌道，多條所述限位軌道沿所述濺射滾筒的周向環繞在所述濺射滾筒上，所述第一導電滾輪與所述限位軌道滾動配合。

在其中一個實施例中，所述濺射滾筒的外側壁設置有齒環，所述齒環沿所述濺射滾筒的周向環繞在所述濺射滾筒上，所述驅動裝置包括電機以及由所述電機驅動轉動的齒輪，所述齒輪和所述齒環傳動配合。

在其中一個實施例中，所述導電滾輪還包括第二導電滾輪，所述滾筒座上設置有杠桿和拉伸彈簧，所述杠桿可轉動連接于所述滾筒座，所述杠桿的兩端分別連接于所述第二導電滾輪和所述拉伸彈簧，在所述拉伸彈簧的拉力下，所述杠桿將所述第二導電滾輪的輪面壓在所述濺射滾筒的外側壁上。

在其中一個實施例中，所述濺射滾筒包括內筒和外筒，所述外筒套設在所述內筒上，所述內筒能夠移入或移出所述外筒，所述內筒具有所述濺射內腔。

在其中一個實施例中，所述內筒和所述外筒通過直線形的限位槽和活動嵌設在所述限位槽中的限位凸條配合連接。

在其中一個實施例中，所述內筒和所述外筒通過所述限位凸條和所述限位槽的內壁進行電流傳導。

在其中一個實施例中，所述內筒和所述外筒還通過導電線連接。

在其中一個實施例中，所述濺射內腔的內壁設置有多個攪拌葉。