[實用新型]一種表壓力傳感器用氣流變向的防護結構

有效

• 申請號: 201922036019.2
• 申請日: 2019-11-22
• 公開（公告）號: CN211576454U
• 公開（公告）日: 2020-09-25
• 發明（設計）人: 王小平;李凡亮;吳登峰;曹萬
• 申請（專利權）人: 武漢飛恩微電子有限公司
• 主分類號: G01L19/14
• 分類號: G01L19/14;G01L19/00
• 代理公司: 上海精晟知識產權代理有限公司 31253
• 代理人: 湯蔚莉

本實用涉及壓力傳感器技術領域，且公開了一種表壓力傳感器用氣流變向的防護結構，包括表壓傳感器模組，所述表壓傳感器模組的上端安裝有防護部件。該一種表壓力傳感器用氣流變向的防護結構，通過上蓋和防塵帽之間形成與保護腔體連通的變向氣流通道的配合使用，變向氣流通道側壁氣流通道和主氣流通道使氣體被變向進入到保護腔體的內部，在實現壓力平衡同時，外界大顆粒灰塵和液體等雜質在重力作用下無法進入氣流通道，部分輕質雜質即使能進入氣流通道，在變向過程中依附在氣流通道的側壁，圓周陣列布置的側壁氣流通道可以確保良好的氣流通過性，在保持壓力平衡的同時隔絕了大顆粒雜質，從而實現了壓力平衡和防護結構共同作用的目的。

技術領域

本實用涉及壓力傳感器技術領域，具體為一種表壓力傳感器用氣流變向的防護結構。

背景技術

壓力傳感器分為絕壓和表壓兩種類型，絕壓傳感器感測壓力與固定參考壓力的差值；表壓傳感器為感測壓力與環境壓力的差值，由于環境壓力值受溫濕度、海拔等因素的影響，不同環境下的參考壓力值各不相同，為保證表壓類型的傳感器輸出精度，必須確保環境壓力與傳感器內部壓力平衡。

現有技術中表壓傳感器的內部壓力與環境壓力平衡相連通的同時，惡劣的大氣環境例如液體、濕氣和塵埃粒子等進入到MEMS(微機電系統)壓力傳感器的內部，會對表壓傳感器的測量精度和耐久性產生影響，存在著在實現傳感器參考壓力平衡的同時，不能夠進行保護的缺點，故而提出一種表壓力傳感器用氣流變向的防護結構。

實用新型內容

(一)解決的技術問題

針對現有技術的不足，本實用提供了一種表壓力傳感器用氣流變向的防護結構，具備壓力平衡和防護結構共同作用的等優點，解決了現有技術中表壓傳感器的內部壓力與環境壓力平衡相連通的同時，惡劣的大氣環境例如液體、濕氣和塵埃粒子等進入到壓力傳感器的內部，會對表壓傳感器的測量精度和耐久性產生影響，存在著在實現傳感器參考壓力平衡的同時，不能夠進行保護的缺點的問題。

(二)技術方案

為實現上述壓力平衡和防護結構共同作用的目的，本實用提供如下技術方案：一種表壓力傳感器用氣流變向的防護結構，包括表壓傳感器模組，所述表壓傳感器模組的上端安裝有防護部件，所述表壓傳感器模組和防護部件之間形成保護腔體；

所述防護部件包括上蓋和防塵帽，所述上蓋的上端安裝有防塵帽，所述上蓋和防塵帽之間形成與保護腔體連通的變向氣流通道；所述變向氣流通道包括垂直相交的側壁氣流通道和主氣流通道；

所述主氣流通道的上方設有防水透氣膜。

優選的，所述上蓋包括連接管和第二環形卡扣，所述第二環形卡扣連接在連接管的上端，所述主氣流通道設置在連接管的幾何中心處，所述側壁氣流通道陣列分布第二環形卡扣上。

優選的，所述防塵帽的內側壁設有第一環形卡扣，所述防塵帽的內頂面陣列分布有凸塊，用于上蓋和連接管的裝配限位。

優選的，所述第一環形卡扣和第二環形卡扣之間形成過盈配合。

優選的，所述連接管的上端面開設有凹槽，用于定位和放置防水透氣膜。

優選的，所述防水透氣膜的上平面和連接管的上端面位于同一水平面，用于防止堵塞。

(三)有益效果

與現有技術相比，本實用提供了一種表壓力傳感器用氣流變向的防護結構，具備以下有益效果：