[實(shí)用新型]一種半導(dǎo)體器件測試夾具及測試箱體

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201922024940.5
• 申請日: 2019-11-21
• 公開（公告）號: CN211348524U
• 公開（公告）日: 2020-08-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 柏加來;韓正;朱國軍;唐德平
• 申請（專利權(quán)）人: 合肥科威爾電源系統(tǒng)股份有限公司
• 主分類號: G01R31/26
• 分類號: G01R31/26;G01R1/04
• 代理公司: 合肥市浩智運(yùn)專利代理事務(wù)所(普通合伙) 34124
• 代理人: 張景云

本實(shí)用新型公開了一種半導(dǎo)體器件測試夾具，包括環(huán)氧板、第一信號探針、第一連接端、第二信號探針及第二連接端，所述環(huán)氧板的一側(cè)設(shè)置有第一連接端，所述環(huán)氧板的頂部靠近第一連接端的位置通過連接柱體與第一信號探針相連，所述環(huán)氧板的底部還設(shè)置有第二信號探針，所述環(huán)氧板的底部于第二信號探針的一側(cè)設(shè)置有第二連接端。本實(shí)用新型還公開了一種半導(dǎo)體測試箱體。本實(shí)用新型在使用時(shí)將測試夾具的第一信號探針與第三連接點(diǎn)，第二連接端與第二連接點(diǎn)相連，第二信號探針與被測件的第一連接點(diǎn)相連；從而完成被測件與測試夾具的相連，使用時(shí)方便檢測使用，省時(shí)省力，而且方便拆卸。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及電力電子器件測試技術(shù)領(lǐng)域，更具體涉及一種半導(dǎo)體器件測試夾具及測試箱體。

背景技術(shù)

工業(yè)的快速發(fā)展使許多行業(yè)都得到了相應(yīng)的發(fā)展，半導(dǎo)體行業(yè)就是其中最為重要的一個(gè)，人們對半導(dǎo)體產(chǎn)品的研究不斷深入，其性能得到了進(jìn)一步提高。在研究與分析半導(dǎo)體過程中，為了確保半導(dǎo)體在應(yīng)用過程中作用能夠得到充分發(fā)揮，對其測試提出了更高的要求。在測試半導(dǎo)體過程中，要采用合理的裝夾方式，以及器件的測試前后工序的合理運(yùn)動方式，從而達(dá)到高效的模式。

在半導(dǎo)體(例如IGBT)的特性研究中，需要將半導(dǎo)體放置于測試箱體中進(jìn)行動靜態(tài)測試，測試箱體內(nèi)部包括了半導(dǎo)體測試工裝、以及與半導(dǎo)體測試工裝相配合使用的測試夾具，而測試中需要通過夾具與半導(dǎo)體相連后，再經(jīng)過半導(dǎo)體測試工裝獲取半導(dǎo)體相關(guān)物理特性，進(jìn)而對半導(dǎo)體進(jìn)行特性分析。而現(xiàn)有的夾具與半導(dǎo)體相連時(shí)，在夾具與半導(dǎo)體連接處，需要通過手動擰緊螺絲，才能實(shí)現(xiàn)夾具與半導(dǎo)體的有效連接，而且費(fèi)時(shí)費(fèi)力。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題在于提供一種半導(dǎo)體器件測試夾具及測試箱體，以解決測試夾具與被測件連接時(shí)，手動擰緊螺絲，導(dǎo)致費(fèi)時(shí)費(fèi)力的問題；

為解決上述問題，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：

一種半導(dǎo)體器件測試夾具，包括環(huán)氧板、第一信號探針、第一連接端、第二信號探針及第二連接端，所述環(huán)氧板的一側(cè)設(shè)置有第一連接端，所述環(huán)氧板的頂部靠近第一連接端的位置通過連接柱體與第一信號探針相連，所述環(huán)氧板的底部還設(shè)置有若干根第二信號探針，所述環(huán)氧板的底部于第二信號探針的一側(cè)設(shè)置有第二連接端。

測試夾具設(shè)置可在測試艙內(nèi)，測試夾具與測試艙內(nèi)的端口通過探針進(jìn)行連接，替換了原有的通過螺絲擰緊連接，而實(shí)現(xiàn)對被測件的檢測，方便檢測使用，而且拆卸方便。

作為本實(shí)用新型進(jìn)一步的方案：所述連接柱體的底部固定設(shè)置于環(huán)氧板的頂部，所述連接柱體的頂部設(shè)置有第一信號探針，所述連接柱體的材質(zhì)與環(huán)氧板的材質(zhì)相同；

其中，第一信號探針用于低壓信號檢測，通過第一信號探針與被測件相連。

作為本實(shí)用新型進(jìn)一步的方案：所述第一連接端包括第一功率探針、第二功率探針、第三功率探針，所述第一功率探針、第二功率探針、第三功率探針自上而下依次設(shè)置于環(huán)氧板的側(cè)面，所述第一功率探針、第二功率探針、第三功率探針的數(shù)量為若干；干根第一功率探針、第二功率探針、第三功率探針用于與疊層母排連接裝置相連，形成功率回路。

所述第一功率探針為母線正極，第二功率探針為電感層，第三功率探針為母線負(fù)極；第一功率探針為母線正極，第二功率探針為電感層，第三功率探針為母線負(fù)極，通過第一功率探針、第二功率探針、第三功率探針與疊層母排連接裝置相連，從而實(shí)現(xiàn)測試電路與被測件的電氣連接，并方便拆卸。

作為本實(shí)用新型進(jìn)一步的方案：所述第二連接端包括若干根第四功率探針，所述第二連接端設(shè)置于環(huán)氧板的底部，所述第四功率探針、第五功率探針、第六功率探針為用于連接被測件的功率信號探針。