[實用新型]鍍膜設備

有效

• 申請號: 201922021610.0
• 申請日: 2019-11-21
• 公開（公告）號: CN211339682U
• 公開（公告）日: 2020-08-25
• 發明（設計）人: 張鶴;姚良;韓方虎;張良俊;王亨;李翔
• 申請（專利權）人: 江蘇微導納米科技股份有限公司
• 主分類號: C23C16/455
• 分類號: C23C16/455;C23C16/50;C23C16/54
• 代理公司: 蘇州佳博知識產權代理事務所(普通合伙) 32342
• 代理人: 羅宏偉

1.一種鍍膜設備，其特征在于：包括第一反應腔組(10)、第二反應腔組(20)、一個第一工藝泵(30)、一個第二工藝泵(40)及一個抽真空泵(50)，所述第一反應腔組(10)包含相互獨立的多個第一反應腔(11)，所述第二反應腔組(20)包含相互獨立的多個第二反應腔(21)，多個所述第一反應腔(11)、所述第二反應腔(21)分別與一個所述抽真空泵(50)連接以共享所述抽真空泵(50)，多個所述第一反應腔(11)分別與一個所述第一工藝泵(30)連接以共享所述第一工藝泵(30)，多個所述第二反應腔(21)分別與一個所述第二工藝泵(40)連接以共享所述第二工藝泵(40)。

2.根據權利要求1所述的鍍膜設備，其特征在于：每個所述第一反應腔(11)與所述第二反應腔(21)內均放置載具，所述載具內放置待鍍膜的物體。

3.根據權利要求1所述的鍍膜設備，其特征在于：所述第一工藝泵(30)與所述第二工藝泵(40)相互獨立運行。

4.根據權利要求1所述的鍍膜設備，其特征在于：每個所述第一反應腔(11)與所述第二反應腔(21)均設有出氣口和進料口，所述出氣口連接所述抽真空泵(50)，所述第一反應腔(11)的所述進料口連接所述第一工藝泵(30)，所述第二反應腔(21)的所述進料口連接所述第二工藝泵(40)。

5.根據權利要求4所述的鍍膜設備，其特征在于：所述第一反應腔(11)和所述第二反應腔(21)的所述出氣口與所述抽真空泵(50)之間分別設置有第一角閥(13)、第二角閥(23)以控制所述出氣口的打開、閉合。

6.根據權利要求4所述的鍍膜設備，其特征在于：所述第一反應腔(11)的所述進料口與對應所述第一工藝泵(30)之間設置有第三角閥(14)和第一蝶閥(15)以控制進料口的打開、閉合；所述第二反應腔(21)的所述進料口與對應所述第二工藝泵(40)之間設置有第四角閥(24)和第二蝶閥(25)以控制進料口的打開、閉合。

7.根據權利要求4所述的鍍膜設備，其特征在于：所述第一工藝泵(30)和所述第二工藝泵(40)上均設有排出口，工藝氣體從該排出口排出。

8.根據權利要求1所述的鍍膜設備，其特征在于：所述抽真空泵(50)和所述第一工藝泵(30)、所述第二工藝泵(40)分開設置。