[實用新型]一種背表面鈍化電池片鍍膜設備

有效

• 申請號: 201922017250.7
• 申請日: 2019-11-20
• 公開（公告）號: CN210856328U
• 公開（公告）日: 2020-06-26
• 發明（設計）人: 楊金鑫;謝鳳蘭;劉燕;唐正海
• 申請（專利權）人: 鹽城阿特斯陽光能源科技有限公司;阿特斯陽光電力集團有限公司
• 主分類號: C23C16/44
• 分類號: C23C16/44;C23C16/04;C23C16/40;C23C16/34;H01L31/18
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 胡彬

1.一種背表面鈍化電池片鍍膜設備，其特征在于，包括：

電池載板(1)，所述電池載板(1)用于承載電池片，所述電池載板(1)包括支撐板(11)和遮擋板(12)，所述支撐板(11)位于所述遮擋板(12)上方，所述支撐板(11)上設有貫穿所述支撐板(11)的配合槽，所述電池片配合在所述配合槽內，所述遮擋板(12)上設有縫隙(121)；

運輸裝置(2)，所述運輸裝置(2)用于運輸所述電池載板(1)；

沉積裝置(3)，所述沉積裝置(3)設在所述運輸裝置(2)的下方，所述沉積裝置(3)用于朝向所述電池載板(1)噴射氧化鋁沉積氣流和氮化硅沉積氣流，所述氧化鋁沉積氣流與所述氮化硅沉積氣流能夠通過穿過所述縫隙(121)以實現所述電池片鍍膜。

2.根據權利要求1所述的背表面鈍化電池片鍍膜設備，其特征在于，所述支撐板(11)上設有配合在所述配合槽內的支撐格柵(111)，多個所述電池片呈行列排布地分布在所述支撐格柵(111)上。

3.根據權利要求2所述的背表面鈍化電池片鍍膜設備，其特征在于，所述支撐板(11)上設有環繞所述支撐格柵(111)設置的配合長孔(112)，所述遮擋板(12)通過連接件與所述配合長孔(112)配合。

4.根據權利要求1所述的背表面鈍化電池片鍍膜設備，其特征在于，所述背表面鈍化電池鍍膜設備還包括吸附裝置(4)，所述吸附裝置(4)用于吸附所述電池片使其運動至所述運輸裝置(2)上。

5.根據權利要求4所述的背表面鈍化電池片鍍膜設備，其特征在于，所述背表面鈍化電池鍍膜設備還包括拍攝裝置(5)，所述拍攝裝置(5)位于所述吸附裝置(4)的上方，所述拍攝裝置(5)用于拍攝并且識別所述電池片。

6.根據權利要求5所述的背表面鈍化電池片鍍膜設備，其特征在于，所述背表面鈍化電池鍍膜設備還包括歸正裝置(6)，所述歸正裝置(6)用于歸正所述電池片，所述歸正裝置(6)與所述拍攝裝置(5)電連接，所述歸正裝置(6)可以根據所述拍攝裝置(5)的結果調整所述電池片的位置。

7.根據權利要求1所述的背表面鈍化電池片鍍膜設備，其特征在于，所述運輸裝置(2)包括兩個傳送帶結構，兩個所述傳送帶結構并排設置，所述電池載板(1)支撐在所述傳送帶結構的傳送帶上，所述沉積裝置(3)位于兩個所述傳送帶之間。

8.根據權利要求1所述的背表面鈍化電池片鍍膜設備，其特征在于，所述沉積裝置(3)包括：

預熱組件(31)，所述預熱組件(31)用于預熱所述電池片；

氧化鋁沉積組件(32)，在所述電池片的運輸方向上，所述氧化鋁沉積組件(32)位于所述預熱組件(31)的下游，所述氧化鋁沉積組件(32)用于噴射氧化鋁沉積氣流；

氮化硅沉積組件(33)，在所述電池片的運輸方向上，所述氮化硅沉積組件(33)位于所述氧化鋁沉積組件(32)的下游，所述氮化硅沉積組件(33)用于噴射氮化硅沉積氣流。

9.根據權利要求8所述的背表面鈍化電池片鍍膜設備，其特征在于，所述氧化鋁沉積組件(32)包括：

三甲基鋁噴嘴(321)，所述三甲基鋁噴嘴(321)用于朝向所述電池片噴射三甲基鋁氣流；

臭氧噴嘴(322)，在所述電池片的運輸方向上，所述臭氧噴嘴(322)位于所述三甲基鋁噴嘴(321)的下游，所述臭氧噴嘴(322)用于朝向所述電池片噴射臭氧氣流；

氮氣噴嘴(323)，所述氮氣噴嘴(323)為兩個，兩個所述氮氣噴嘴(323)間隔設置，且所述三甲基鋁噴嘴(321)及所述臭氧噴嘴(322)位于兩個所述氮氣噴嘴(323)之間。

10.根據權利要求8所述的背表面鈍化電池片鍍膜設備，其特征在于，所述氮化硅沉積組件(33)包括：

氨氣噴嘴(331)，所述氨氣噴嘴(331)用于朝向所述電池片噴射氨氣氣流；

硅烷噴嘴(332)，在所述電池片的運輸方向上，所述硅烷噴嘴(332)位于所述氨氣噴嘴(331)的下游，所述硅烷噴嘴(332)用于朝向所述電池片噴射硅烷氣流。