[實用新型]晶棒墜落安全防護裝置及單晶爐

有效

• 申請號: 201922014918.2
• 申請日: 2019-11-20
• 公開（公告）號: CN210886311U
• 公開（公告）日: 2020-06-30
• 發明（設計）人: 王維;胥俊東;常曉魚;陳輝
• 申請（專利權）人: 北京北方華創真空技術有限公司
• 主分類號: C30B15/00
• 分類號: C30B15/00;C30B15/30;C30B29/06
• 代理公司: 北京路浩知識產權代理有限公司 11002
• 代理人: 周琦

1.一種晶棒墜落安全防護裝置，其特征在于，包括連接組件和止擋組件，

所述止擋組件包括兩根旋臂以及連接在兩根所述旋臂之間的止擋板(100)，所述止擋板(100)上設置有用以阻擋晶棒墜落的容納孔(102)，所述容納孔(102)開設于所述止擋板(100)的中心，兩根所述旋臂通過所述連接組件可轉動地連接在副室(104)的側壁上。

2.根據權利要求1所述的晶棒墜落安全防護裝置，其特征在于，所述連接組件包括第一安裝座(106)、伸縮件(108)，所述第一安裝座(106)固定連接在所述副室(104)的側壁上，所述伸縮件(108)的第一端可轉動地連接在所述第一安裝座(106)上，所述伸縮件(108)的第二端可轉動地連接在所述旋臂上。

3.根據權利要求2所述的晶棒墜落安全防護裝置，其特征在于，所述副室(104)的側壁上還設置有第二安裝座(110)，所述旋臂的第一端可轉動地連接在所述第二安裝座(110)上。

4.根據權利要求3所述的晶棒墜落安全防護裝置，其特征在于，所述旋臂包括主旋臂(112)以及副旋臂(114)，所述主旋臂(112)的第一端可轉動地連接在所述第二安裝座(110)上，所述主旋臂(112)的第二端與所述止擋板(100)連接，所述副旋臂(114)的第一端與所述主旋臂(112)固定連接，所述副旋臂(114)的第二端可轉動地連接在所述伸縮件(108)的第二端。

5.根據權利要求2所述的晶棒墜落安全防護裝置，其特征在于，所述第一安裝座(106)上設置有用以連接所述伸縮件(108)的轉動座(116)，所述轉動座(116)與所述第一安裝座(106)可轉動地連接，所述伸縮件(108)的所述第一端固定連接在所述轉動座(116)上。

6.根據權利要求4所述的晶棒墜落安全防護裝置，其特征在于，所述第二安裝座(110)上設置有用以連接所述主旋臂(112)的固定座(118)，所述主旋臂(112)的第一端可轉動地連接在所述固定座(118)上。

7.根據權利要求3所述的晶棒墜落安全防護裝置，其特征在于，所述第一安裝座(106)為兩個，兩個所述第一安裝座(106)分別設置在所述副室(104)的側壁相對應的位置處；所述第二安裝座(110)為兩個，兩個所述第二安裝座(110)分別設置在所述副室(104)的側壁相對應的位置處。

8.根據權利要求4所述的晶棒墜落安全防護裝置，其特征在于，在所述主旋臂(112)的所述第二端與所述止擋板(100)之間還設置有加強筋(120)。

9.根據權利要求4所述的晶棒墜落安全防護裝置，其特征在于，所述主旋臂(112)與所述副旋臂(114)之間具有夾角。

10.一種單晶爐，其特征在于，包括如權利要求1至9中任一項所述的晶棒墜落安全防護裝置。