[實(shí)用新型]一種用以固定晶圓的夾持裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201922013715.1
• 申請(qǐng)日: 2019-11-20
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN211466133U
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-09-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李志峰;莊海云;徐銘;王雪松
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 上海至純潔凈系統(tǒng)科技股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): B25B11/02
• 分類(lèi)號(hào): B25B11/02
• 代理公司: 北京沁優(yōu)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11684
• 代理人: 蔡巖巖

1.一種用以固定晶圓的夾持裝置，其特征在于，包括：

第一夾持組件(2)，所述第一夾持組件(2)包括安裝板(21)，所述安裝板(21)上至少固接有兩個(gè)固定座，所述固定座包括第一固定座(22)及與所述第一固定座(22)對(duì)稱(chēng)設(shè)置的第二固定座(23)，所述第一固定座(22)上開(kāi)設(shè)有若干個(gè)齒條(221)；以及

第二夾持組件(3)，所述第二夾持組件(3)與第一夾持組件(2)結(jié)構(gòu)相同且對(duì)稱(chēng)設(shè)置；

其中，安裝板(21)上貫穿固定有連接桿(4)，且安裝板(21)一端固接有轉(zhuǎn)動(dòng)連接桿(5)，所述轉(zhuǎn)動(dòng)連接桿(5)轉(zhuǎn)動(dòng)連接有轉(zhuǎn)動(dòng)曲柄(7)，以使第一夾持組件(2)與第二夾持組件(3)繞著所述轉(zhuǎn)動(dòng)曲柄(7)做周向轉(zhuǎn)動(dòng)。

2.如權(quán)利要求1所述的用以固定晶圓的夾持裝置，其特征在于，所述轉(zhuǎn)動(dòng)曲柄(7)包括軸連接塊(73)，所述軸連接塊(73)的下端固接有固定板(74)，所述固定板(74)上滑動(dòng)連接有轉(zhuǎn)接塊(75)。

3.如權(quán)利要求1所述的用以固定晶圓的夾持裝置，其特征在于，軸連接塊(73)的上端部開(kāi)設(shè)有第一軸連接孔(731)，所述第一軸連接孔(731)中轉(zhuǎn)動(dòng)連接有第一轉(zhuǎn)軸(71)，轉(zhuǎn)接塊(75)的下端部開(kāi)設(shè)有第二軸連接孔(751)，所述第二軸連接孔(751)中轉(zhuǎn)接有第二轉(zhuǎn)軸(72)。

4.如權(quán)利要求1所述的用以固定晶圓的夾持裝置，其特征在于，所述齒條(221)的兩側(cè)對(duì)稱(chēng)設(shè)置，齒條(221)包括頂部(2213)，所述頂部(2213)一側(cè)面依次設(shè)有第一引導(dǎo)面(2211)及第二引導(dǎo)面(2212)。

5.如權(quán)利要求4所述的用以固定晶圓的夾持裝置，其特征在于，所述第一引導(dǎo)面(2211)與豎直方向成α夾角，所述α范圍為30°-60°。

6.如權(quán)利要求4所述的用以固定晶圓的夾持裝置，其特征在于，所述第二引導(dǎo)面(2212)與豎直方向成β夾角，所述β范圍為15°-30°。

7.如權(quán)利要求1所述的用以固定晶圓的夾持裝置，其特征在于，每?jī)蓚€(gè)齒條(221)交界處為一弧形槽(2214)，所述弧形槽(2214)沿第一固定座(22)的寬度方向延伸。

8.如權(quán)利要求1-7任意所述的用以固定晶圓的夾持裝置，其特征在于，每?jī)蓚€(gè)齒條(221)之間由第一引導(dǎo)面(2211)、第二引導(dǎo)面(2212)及弧形槽(2214)形成一固定區(qū)間。