[實用新型]一種基于電真空器件的光譜儀

有效

• 申請號: 201922008327.4
• 申請日: 2019-11-19
• 公開（公告）號: CN211014002U
• 公開（公告）日: 2020-07-14
• 發明（設計）人: 李赟
• 申請（專利權）人: 西安中科英威特光電技術有限公司
• 主分類號: G01N21/27
• 分類號: G01N21/27;G01J3/28;G01J3/02
• 代理公司: 西安銘澤知識產權代理事務所(普通合伙) 61223
• 代理人: 姬莉

1.一種基于電真空器件的光譜儀，其特征在于，包括光信號輸入系統、色散分光棱鏡(3)、基于微通道板的位敏型多陽極光電探測器以及數據采集及信號處理系統(8)；所述光信號輸入系統包括狹縫(1)和準直系統(2)，其中狹縫(1)與色散分光棱鏡(3)的主截面垂直，被測光信號依次通過狹縫(1)及準直系統(2)，準直系統(2)將被測光信號準直成平行的光束投射到色散分光棱鏡(3)的接收面上；所述位敏型多陽極光電探測器的接收面與色散分光棱鏡(3)的主截面垂直，被測光信號經色散分光棱鏡(3)色散后，各不同波長的單色光波入射至位敏型多陽極光電探測器的探測面不同位置處，從而在其對應的位敏多陽極產生探測電流，并通過所述數據采集及信號處理系統(8)完成光譜的波長和能量信息的檢測與分析。

2.如權利要求1所述的一種基于電真空器件的光譜儀，其特征在于，所述準直系統(2)的工作波段是紫外光波段、可見光波段或紅外光波段。

3.如權利要求1所述的一種基于電真空器件的光譜儀，其特征在于，所述位敏型多陽極光電探測器的電子倍增器(6)采用微通道板結構采用一塊微通道板或兩塊微通道板，位敏型多陽極光電探測器的陽極結構是金屬多陽極結構或者半導體多陽極結構。

4.如權利要求1所述的一種基于電真空器件的光譜儀，其特征在于，所述基于微通道板的位敏型多陽極光電探測器具有選通功能。

5.如權利要求1所述的一種基于電真空器件的光譜儀，其特征在于，所述色散分光棱鏡(3)與位敏型多陽極光電探測器之間還設置有用于對所述單色光波進行調制、優化和提高分辨能力的聚焦成像系統(9)。