[實用新型]一種平面磁控濺射陰極靶面防護屏蔽裝置

有效

• 申請號: 201922008302.4
• 申請日: 2019-11-19
• 公開（公告）號: CN210886213U
• 公開（公告）日: 2020-06-30
• 發明（設計）人: 張曉嵐;謝丑相;王國昌;籍龍占;吳歷清
• 申請（專利權）人: 杭州朗旭新材料科技有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 萬雙艷

本實用新型公開了一種平面磁控濺射陰極靶面防護屏蔽裝置，包括用以分別設于平面靶材外側的上下兩端的傳動桿和導向桿，以及上下兩端分別與所述傳動桿和所述導向桿滑動連接的多個折疊桿，多個所述折疊桿之間裝設有防護屏蔽面。上述平面磁控濺射陰極靶面防護屏蔽裝置，多個折疊桿沿傳動桿和導向桿滑動以帶動防護屏蔽面鋪展拉開或折疊收回，折疊結構的形式減小了空間的占用，完全拉開時可起到未工作靶材表面的防護作用，部分拉開時還可調節靶材的濺射速率和濺射區域等重要參數，對工藝改善和升級提供新的思路。

技術領域

本實用新型涉及平面磁控濺射技術領域，特別涉及一種平面磁控濺射陰極靶面防護屏蔽裝置。

背景技術

磁控濺射技術廣泛應用于真空鍍膜工藝中，是一種利用磁場在靶表面特定區域增強電離效率和增加離子密度和能量，從而實現高速率濺射的過程。

在現有的磁控濺射技術中，普遍采用平面靶材的磁場結構。在平面磁控濺射設備、尤其是實驗室用平面磁控濺射設備上，同時安裝有多種平面靶材。基于實驗需求，在工藝過程中并不一定啟用所有靶材，未工作的靶材表面如果沒有防護措施會受到其它工作靶材的污染。在下一次啟用這些靶面受污染的靶材時，首先，需要額外增加更多的預濺射時間來去除這些靶面雜質，給實驗帶來不必要的時間和資源上的浪費；其次，靶面雜質是否徹底去除并沒有一個明確參數指引，給工藝過程中引入不確定性。

現有的防護措施為整塊金屬板或多塊金屬板組合在靶前開合實現對靶面的防護，金屬板在開啟后會離開靶面，停置在平面陰極左右兩邊或上下兩端的區域，從而額外占用很大一部分腔體空間，結構功能單一，開合方式單一，占用空間大，對真空腔體的空間利用以及對平面陰極的升級改造提出了很高的要求，增加了新設備腔體的制造成本和現有設備的改造難度。

因此，如何能夠提供一種在解決未工作靶材表面受其它工作靶材污染問題的基礎上、節省空間、功能多樣的平面磁控濺射陰極靶面防護屏蔽裝置是本領域技術人員亟需解決的技術問題。

實用新型內容

本實用新型的目的是提供一種平面磁控濺射陰極靶面防護屏蔽裝置，多個折疊桿沿傳動桿和導向桿滑動以帶動防護屏蔽面鋪展拉開或折疊收回，折疊結構的形式減小了空間的占用，完全拉開時可起到未工作靶材表面的防護作用，部分拉開時還可調節靶材的濺射速率和濺射區域等重要參數，對工藝改善和升級提供新的思路。

為實現上述目的，本實用新型提供一種平面磁控濺射陰極靶面防護屏蔽裝置，包括用以分別設于平面靶材外側的上下兩端的傳動桿和導向桿，以及上下兩端分別與所述傳動桿和所述導向桿滑動連接的多個折疊桿，多個所述折疊桿之間裝設有防護屏蔽面。

優選地，所述防護屏蔽面為軟簾。

優選地，所述防護屏蔽面為折疊板。

優選地，所述防護屏蔽面的材料為金屬。

優選地，所述折疊桿的上下兩端分別設有供所述傳動桿和所述導向桿穿設的孔。

優選地，所述傳動桿設有外螺紋，所述折疊桿設有內螺紋，所述傳動桿與所述折疊桿螺紋連接。

優選地，所述傳動桿的兩端分別設有旋向相反的兩組所述外螺紋，所述傳動桿的兩端分別設有兩組所述折疊桿。

優選地，所述傳動桿的中部設有與第二傳動齒嚙合的第一傳動齒，所述第二傳動齒由傳動電機通過傳動軸連接。

優選地，所述第一傳動齒和所述第二傳動齒為斜齒輪。

優選地，所述折疊桿均勻分布。