[實用新型]一種液體中微小顆粒的檢測裝置

有效

• 申請號: 201921998800.1
• 申請日: 2019-11-19
• 公開（公告）號: CN211206179U
• 公開（公告）日: 2020-08-07
• 發明（設計）人: 孫吉勇;梁鳳飛;沈瑋棟
• 申請（專利權）人: 江蘇蘇凈集團有限公司;蘇州蘇凈儀器自控設備有限公司
• 主分類號: G01N15/10
• 分類號: G01N15/10
• 代理公司: 蘇州創元專利商標事務所有限公司 32103
• 代理人: 郭勁

一種液體中微小顆粒的檢測裝置，其包括流通池、激光器、散射光收集裝置、光電探測器、布拉格光柵和第一光纖耦合器，所述散射光收集裝置收集到的散射光線通過所述第一光纖耦合器送入所述光纖布拉格光柵，所述光纖布拉格光柵收到所述散射光線后的反射光線通過所述第一光纖耦合器送入所述光電探測器。通過本裝置可以消除液體所產生的絕大部分散射光，降低了液體散射光對粒子所產生的散射光信號的干擾，使得光電探測器所捕獲的散射光信號主要為粒子所產生的光信號。提高了整個檢測裝置的信噪比。增強了檢測裝置檢測微小粒子的檢測能力，從而可以檢測到更小粒徑的粒子。

技術領域

本發明涉及液體中顆粒檢測設備領域，特別是一種液體中微小顆粒的檢測裝置。

背景技術

液體顆粒計數器主要用于檢測液體中的微小顆粒污染物。它在半導體工藝過程控制中有著重要的應用，用于檢測超純水或者化學試劑的潔凈程度。光散射法是目前液體顆粒計數器所采用的主要檢測方法。

當入射光照射到顆粒的時候，微小顆粒會和入射光發生相互作用，產生散射光，散射光的大小和顆粒的大小相關。因此，根據顆粒產生的散射光信號的大小可以測量出顆粒的大小，并對顆粒的數量進行計數。

由于所測量的液體中的微小顆粒直徑非常小，通常在1微米以下，產生的散射光也非常微弱。對于液體顆粒計數器，當入射光照射到微小顆粒的同時，也會照射到液體本身，液體本身會產生散射射光，液體產生的散射光對粒子產生的散射光信號會產生干擾，嚴重制約了系統的檢測能力。

發明內容

本發明的目的是提供一種能夠去除液體對檢測結果干擾的液體中微小顆粒的檢測裝置。

為達到上述目的，本發明采用的技術方案是：一種液體中微小顆粒的檢測裝置，其包括內部具有供液體通過的液體通道的流通池、產生射向所述液體通道的激光的激光器、收集流通池受到激光束照射后散射的散射光線的散射光收集裝置和光電探測器，所述檢測裝置還包括光纖布拉格光柵和第一光纖耦合器，所述光纖布拉格光柵的反射波長和所述激光器所發出的波長相同，所述光纖布拉格光柵、所述散射光收集裝置與所述光電探測器通過第一光纖耦合器相連接，所述散射光收集裝置收集到的散射光線通過所述第一光纖耦合器送入所述光纖布拉格光柵，所述光纖布拉格光柵收到所述散射光線后的反射光線通過所述第一光纖耦合器送入所述光電探測器。

優選地，所述流通池為透明材料制成的長方體，所述液體通道為所述流通池中沿其長度方向設置的通孔。

進一步優選地，所述液體通道為圓形孔，其直徑為0.5-2mm。

進一步優選地，所述激光束垂直所述液體通道射入所述液體通道的中心位置。

進一步優選地，所述散射光收集裝置包括匯集透鏡和光纖，匯集透鏡將散射光纖匯集至所述光纖端部并被所述光纖所收集。

進一步優選地，所述匯集透鏡膠合在流通池的表面上，流通池流體通道的中心位于匯集透鏡的物面位置。

進一步優選地，所述散射光收集裝置設置有兩組，所述檢測裝置還包括分別連接兩組所述散射光收集裝置和第一光纖耦合器的第二光纖耦合器，兩組所述散射光收集裝置接收到的散射光線通過第二光纖耦合器合并后送入所述第一光纖耦合器。

進一步優選地，兩組所述散射光收集裝置分別收集所述流通池相對兩面散射出的光線。

優選地，所述檢測裝置還包括吸收光線的光陷阱，所述光陷阱位于所述激光束通過所述流通池后的射出方向上。

由于上述技術方案運用，本發明與現有技術相比具有下列優點：