[實用新型]可集成反射式濾光片有效
| 申請號： | 201921997928.6 | 申請日： | 2019-11-19 |
| 公開（公告）號： | CN210534364U | 公開（公告）日： | 2020-05-15 |
| 發明（設計）人： | 羅明輝;吳尚亮;喬文;李瑞彬;李玲;周振;成堂東;陳林森 | 申請（專利權）人： | 蘇州蘇大維格科技集團股份有限公司 |
| 主分類號： | G02B5/26 | 分類號： | G02B5/26 |
| 代理公司： | 蘇州謹和知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 32295 | 代理人： | 唐靜芳 |
| 地址： | 215123 江*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 集成 反射 濾光 | ||
【權利要求書】：
1.一種可集成反射式濾光片，其特征在于，包括從下到上依次設置的基底、金屬層、介質層及金屬光柵層，所述金屬光柵層為周期性或準周期性排列，所述金屬光柵層的周期小于500nm。
2.如權利要求1所述的可集成反射式濾光片，其特征在于，所述金屬光柵層具有若干個開口，若干個所述開口的之間的距離小于所述金屬光柵層周期的一半。
3.如權利要求1所述的可集成反射式濾光片，其特征在于，所述金屬光柵層的厚度范圍為10～120nm。
4.如權利要求1所述的可集成反射式濾光片，其特征在于，所述金屬層的厚度小于可見光在所述金屬層的趨膚深度。
5.如權利要求4所述的可集成反射式濾光片，其特征在于，所述金屬層的厚度小于30nm。
6.如權利要求1所述的可集成反射式濾光片，其特征在于，所述金屬光柵層的材料為金、銀或鋁。
7.如權利要求1所述的可集成反射式濾光片，其特征在于，所述金屬層的材料為金或銀或鋁。
8.如權利要求1所述的可集成反射式濾光片，其特征在于，所述介質層的材料為二氧化硅或氮化硅或氧化鋁。
9.如權利要求1所述的可集成反射式濾光片，其特征在于，所述基底的材料為柔性透明材料或石英。
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