[實用新型]一種UV膜解膠機

有效

• 申請號: 201921993514.6
• 申請日: 2019-11-18
• 公開（公告）號: CN210897209U
• 公開（公告）日: 2020-06-30
• 發明（設計）人: 李志衛;張仕俊;石正娟
• 申請（專利權）人: 蘇州新米特電子科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型公開了一種UV膜解膠機，涉及UV解膠的技術領域，旨在解決UV燈溫度控制的技術問題；其技術方案要點是一種UV膜解膠機，包括機架，所述機架上設有傳送組件，所述傳送組件上設有UV光源箱，所述UV光源箱上設有溫度顯示器，所述UV光源內設有UV燈，所述UV光源箱內還設有檢測溫度的溫度傳感器，所述傳送組件上設有調節溫度的溫控開關，所述溫控開關包括溫控調節旋鈕、以及調速按鈕，所述UV光源箱上設有通風組件，利用溫度傳感器與溫度顯示器對UV光源箱內的溫度監控，通過溫度顯示器及時的對UV光源箱內的溫度進行溫度調節，達到了對UV光源箱內溫度及時調節控制目的，具有提高UV膜解膠效率的技術效果。

技術領域

本實用新型涉及UV解膠的技術領域，尤其是涉及一種UV膜解膠機。

背景技術

半導體在工業生產中，需要在晶圓表面貼上UV膜，以便于對晶圓進行工藝加工。在加工完成后需要去除UV膜，用UV燈照射后，UV膜的粘度降低，可以方便去除UV膜。

現有的公告號為CN207818529U的中國專利公布了一種UV解膠機，包括機架，所述機架上設有UV光源與遮光燈，所述機架內設有驅動裝置，所述機架上設有機械臂，所述機械臂一側設有機械臂安放槽，所述機械臂安放槽內設有軌道；利用機械臂將放置在機械臂安放槽上，驅動裝置將驅動軌道將機械臂安放槽上的UV膜送進機架內，利用UV光源對UV膜進行照射，UV膜被照射結束后，驅動裝置將會驅動軌道將UV膜返回到入口處。

上述中的現有技術方案存在以下缺陷：UV膜在進入機架內進行UV照射解膠的過程，需要對UV燈的溫度有嚴格的控制，UV膠的解膠溫度不能過低，溫度過低不能達到解膠效果，溫度過高對UV膜容易燒傷，因此UV膜在進入機架內是需要對UV光源的溫度有嚴格的控制，進而提高UV膜解膠的效率。

實用新型內容

本實用新型的目的是提供一種UV膜解膠機，其具有對UV光源箱內溫度控制的目的，達到提高的UV膜解膠效率的效果。

本實用新型的上述實用新型目的是通過以下技術方案得以實現的：一種UV膜解膠機，包括機架，所述機架上設有傳送組件，所述傳送組件上設有UV光源箱，所述UV光源箱內設有UV燈，所述UV光源箱上設有通風組件，所述UV光源箱上設有入口溫度顯示器與出口溫度顯示器，所述UV光源箱上設有UV膜入口與UV膜出口，所述UV光源箱內UV膜入口處設有入口溫度傳感器，所述UV光源箱內UV膜出口處設有出口溫度傳感器，所述機架底部設有驅動電機。

通過采用上述技術方案，通過在UV光源箱內增加溫度傳感器，對UV光源箱內的溫度進行監控，并將溫度通過溫度顯示器顯示出來，然后及時對UV燈的光照強度做出調節，UV光源箱的上設有通風組件，由于UV燈不能長時間照射人體，所以UV光源箱的設計相對密封，因此UV光源箱內的溫度不能及時散熱，進而導致溫度不能穩定在恒溫值，所以利用通風組件對UV光源箱內的熱量箱箱體外排放，達到控制箱體內的溫度的效果，在箱體內設有入口溫度傳感器與出口溫度傳感器，對傳送組件上的入口處與出口處都進型溫度檢測，達到對溫度控制更加具體的技術效果，同時也是為了防止溫度傳感器由于長時間處在非常溫的環境中，容易損壞溫度傳感器探頭，兩個溫度顯示器既有對比的效果。

本實用新型進一步設置為：所述通風組件包括通風殼體與通風口，所述通風口內設有風扇，所述通風口上還設有通風網格。

通過采用上述技術方案，通風組件包括通風殼體與通風口，通風上組件的作用是將UV光源箱的溫度及時排出，將熱氣從通風口出向箱體外排放，通風口內設有風扇，風扇能夠加快熱量散發的速度，風扇上設有通風網格，通風網格相對較密集，其作用是不僅僅是放置東西掉進UV光源箱內，還能夠減少UV光的外泄。

本實用新型進一步設置為：所述傳送組件包括傳送輥輪、與傳送輥輪上的傳送帶，所述傳送帶上設有網格。