[實用新型]體聲波諧振器有效
| 申請號： | 201921973912.1 | 申請日： | 2019-11-12 |
| 公開（公告）號： | CN210405247U | 公開（公告）日： | 2020-04-24 |
| 發明（設計）人： | 繆建民;張瑞珍 | 申請（專利權）人： | 邁感微電子（上海）有限公司 |
| 主分類號： | H03H9/17 | 分類號： | H03H9/17 |
| 代理公司： | 北京品源專利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 201313 上海市浦東新區萬*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 聲波 諧振器 | ||
【權利要求書】：
1.一種體聲波諧振器，其特征在于，包括：
上電極、壓電層和下電極，所述壓電層設置在所述上電極和所述下電極之間；
所述壓電層在所述下電極的垂直投影的至少部分邊界包括多個鋸齒結構。
2.根據權利要求1所述的體聲波諧振器，其特征在于，所述上電極和所述下電極在垂直于所述體聲波諧振器的厚度方向的平面上的垂直投影的至少部分邊界包括多個鋸齒結構。
3.根據權利要求1所述的體聲波諧振器，其特征在于，相鄰所述鋸齒結構的中心間距大于或等于2微米。
4.根據權利要求1所述的體聲波諧振器，其特征在于，所述壓電層在所述下電極的垂直投影的所有邊界均包括多個鋸齒結構。
5.根據權利要求4所述的體聲波諧振器，其特征在于，多個所述鋸齒結構在所述邊界上依次首尾相連。
6.根據權利要求1所述的體聲波諧振器，其特征在于，所述鋸齒結構的形狀包括三角形或梯形。
7.根據權利要求1所述的體聲波諧振器，其特征在于，所述體聲波諧振器在垂直于其厚度方向的平面上的垂直投影的形狀包括多邊形。
8.根據權利要求1所述的體聲波諧振器，其特征在于，所述上電極和所述下電極的材質為金、鉬、鋁、鉻和鎳中的任一種。
9.根據權利要求1所述的體聲波諧振器，其特征在于，所述壓電層的材質為鋯鈦酸鉛壓電陶瓷、氧化鋅和氮化鋁中的任一種。
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