[實用新型]一種大尺寸硅片切割裝置

有效

• 申請號: 201921972102.4
• 申請日: 2019-11-15
• 公開（公告）號: CN211662383U
• 公開（公告）日: 2020-10-13
• 發明（設計）人: 李建弘;李海彬;唐昊;史丹梅;劉曉偉;危晨
• 申請（專利權）人: 天津市環智新能源技術有限公司
• 主分類號: B28D5/04
• 分類號: B28D5/04;B28D7/00;B28D7/02
• 代理公司: 天津諾德知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 12213
• 代理人: 欒志超

1.一種大尺寸硅片切割裝置，包括用于放置硅棒的固定基座以及若干并行設置且用于切割所述硅棒的金剛石線鋸，其特征在于，在所述硅棒表面至少設有一組引導條，所述引導條位于所述固定基座和所述金剛石線鋸之間且與所述金剛石線鋸垂直設置；所述引導條置于所述硅棒長度方向且與所述硅棒長度方向軸線并行設置；所述引導條位于所述硅棒靠近所述金剛石線鋸一側底面或側面設置。

2.根據權利要求1所述的一種大尺寸硅片切割裝置，其特征在于，所述引導條位于所述硅棒靠近所述金剛石線鋸一側底面設置。

3.根據權利要求2所述的一種大尺寸硅片切割裝置，其特征在于，所述引導條數量為兩組，所述引導條置于所述硅棒寬度方向中線兩側且對稱設置。

4.根據權利要求3所述的一種大尺寸硅片切割裝置，其特征在于，兩組所述引導條寬度之和不小于所述硅棒寬度的1/10且不大于所述硅棒寬度的1/5，兩組所述引導條寬度均相同。

5.根據權利要求3或4所述的一種大尺寸硅片切割裝置，其特征在于，所述引導條靠近所述硅棒外側邊距離為10-15mm。

6.根據權利要求1所述的一種大尺寸硅片切割裝置，其特征在于，所述引導條數量為一組，所述引導條置于所述硅棒寬度方向中間位置；所述引導條寬度不小于所述硅棒寬度的1/10且不大于所述硅棒寬度的1/5。

7.根據權利要求1所述的一種大尺寸硅片切割裝置，其特征在于，所述引導條位于所述硅棒靠近所述金剛石線鋸一側兩側面對稱設置，且所述引導條在每個所述硅棒側面上至少設置一組。

8.根據權利要求1-4、6-7任一項所述的一種大尺寸硅片切割裝置，其特征在于，所述引導條橫截面為長方形結構，所述引導條靠近所述硅棒一側邊長大于垂直于所述硅棒一側邊長；所述引導條長度與所述硅棒長度相同。

9.根據權利要求8所述的一種大尺寸硅片切割裝置，其特征在于，所述引導條高度為2-5mm。

10.根據權利要求1-4、6-7、9任一項所述的一種大尺寸硅片切割裝置，其特征在于，所述引導條為磁條。