[實用新型]一種MEMS器件抗沖擊止擋結構有效
| 申請號： | 201921961344.3 | 申請日： | 2019-11-14 |
| 公開（公告）號： | CN210690623U | 公開（公告）日： | 2020-06-05 |
| 發明（設計）人： | 鳳瑞;周銘;商興蓮;蔣鵬;黃艷輝;鞠莉娜 | 申請（專利權）人： | 中國兵器工業集團第二一四研究所蘇州研發中心 |
| 主分類號： | G01P15/125 | 分類號： | G01P15/125;G01P15/14;B81B3/00 |
| 代理公司： | 南京縱橫知識產權代理有限公司 32224 | 代理人： | 耿英 |
| 地址： | 215163 江*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 mems 器件 沖擊 結構 | ||
【權利要求書】：
1.一種MEMS器件抗沖擊止擋結構，其特征是，包括通過梁結構連接到錨點結構上的質量塊；錨點結構將質量塊和梁結構懸浮于檢測電極上；在檢測電極周邊設置高度高于檢測電極并且朝向質量塊的止擋凸點結構；質量塊上朝向止擋凸點結構的位置設置彈性接觸結構。
2.根據權利要求1所述的一種MEMS器件抗沖擊止擋結構，其特征是，所述彈性接觸結構包括一可與止擋凸點結構相接觸的止擋接觸面和將止擋接觸面支撐在質量塊上的多根彈性梁。
3.根據權利要求2所述的一種MEMS器件抗沖擊止擋結構，其特征是，多根彈性梁圍繞止擋接觸面呈軸對稱或中心對稱分布。
4.根據權利要求1所述的一種MEMS器件抗沖擊止擋結構，其特征是，止擋凸點結構設置在襯底層和/或蓋帽上。
5.根據權利要求1所述的一種MEMS器件抗沖擊止擋結構，其特征是，彈性接觸結構與質量塊采用相同工藝加工成型。
6.根據權利要求1所述的一種MEMS器件抗沖擊止擋結構，其特征是，彈性接觸結構與質量塊采用相同工藝、同時加工成型。
7.根據權利要求4所述的一種MEMS器件抗沖擊止擋結構，其特征是，襯底層和/或蓋帽上對應的止擋凸點結構與所在的襯底層和/或蓋帽采用相同工藝加工成型。
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