[實用新型]在線泰曼-格林成盤檢測干涉儀測量裝置

有效

• 申請號: 201921949708.6
• 申請日: 2019-11-13
• 公開（公告）號: CN210774624U
• 公開（公告）日: 2020-06-16
• 發明（設計）人: 王敏;吳振聰;陳玉芳;連東沛;張昊
• 申請（專利權）人: 福建師范大學
• 主分類號: G01M11/02
• 分類號: G01M11/02
• 代理公司: 福州元創專利商標代理有限公司 35100
• 代理人: 丘鴻超;蔡學俊

1.一種在線泰曼-格林成盤檢測干涉儀測量裝置，其特征在于，包括：激光器光源、擴束系統、起偏器、檢偏器、兩個1/4玻片、偏振分光棱鏡、平面參考鏡、待測成盤加工的球面鏡片、球面標準鏡、成像鏡組和光電傳感器CCD；所述激光器光源、擴束系統、起偏器從左至右依次設置在偏振分光棱鏡左方的光路上；第二1/4玻片、所述球面標準鏡、待測成盤加工的球面鏡片從左至右依次設置在偏振分光棱鏡右方的光路上；所述平面參考鏡、第一1/4玻片從上至下依次設置在偏振分光棱鏡上方的光路上；所述檢偏器、成像鏡組和光電傳感器CCD從上至下依次設置在偏振分光棱鏡下方的光路上。

2.根據權利要求1所述的在線泰曼-格林成盤檢測干涉儀測量裝置，其特征在于：還包括設置在檢偏器和成像鏡組之間的光路上的勻光裝置。

3.根據權利要求1所述的在線泰曼-格林成盤檢測干涉儀測量裝置，其特征在于：所述激光器光源發出的光束經過擴束系統擴束準直后在偏振分光棱鏡斜面處分振幅成兩束光；其中參考光經過平面參考鏡反射形成標準平面波，測試光經過待測球面鏡片反射回有偏差的測試波前，在偏振分光棱鏡處與標準平面波相遇并產生干涉。

4.根據權利要求3所述的在線泰曼-格林成盤檢測干涉儀測量裝置，其特征在于：所述測試光經過球面標準鏡后，從平面波轉化為標準球面波，且標準球面波匯聚點與待測球面鏡片的曲率半徑中心重合，并沿原光路返回。

5.根據權利要求3所述的在線泰曼-格林成盤檢測干涉儀測量裝置，其特征在于：所述參考光和測試光分別先后兩次經過光路中的第一1/4玻片和第二1/4玻片后，產生相位延遲，使得原先的S偏振光或P偏振光轉換為P偏振光或S偏振光。

6.根據權利要求3所述的在線泰曼-格林成盤檢測干涉儀測量裝置，其特征在于：所述起偏器用于調節參考光和測試光的光強相等；所述檢偏器用于當S偏振光和P偏振光在偏振分光棱鏡處相遇后使兩束光變成偏振方向相同的兩束光，產生干涉。

7.根據權利要求4所述的在線泰曼-格林成盤檢測干涉儀測量裝置，其特征在于：多片所述待測成盤加工的球面鏡片旋轉對稱分布于模具的球面模具頭上；所述模具的尾部鉸接固定在支架上；所述支架上還設置有位移補償機構。

8.根據權利要求7所述的在線泰曼-格林成盤檢測干涉儀測量裝置，其特征在于：所述球面模具頭上分布有一片中央球面鏡片和多片邊緣球面鏡片；所述模具的尾部通過球關節鉸接固定在支架上。

9.根據權利要求8所述的在線泰曼-格林成盤檢測干涉儀測量裝置，其特征在于：所述位移補償機構通過三個輸出方向相互正交的步進電機進行驅動。